(19)
(11) EP 3 262 466 A1

(12)

(43) Date de publication:
03.01.2018  Bulletin  2018/01

(21) Numéro de dépôt: 16714972.3

(22) Date de dépôt:  22.02.2016
(51) Int. Cl.: 
G03F 7/20(2006.01)
G21K 1/06(2006.01)
 G01N 21/47(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2016/050408
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2016/135406 (01.09.2016 Gazette  2016/35)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA MD

(30) Priorité: 24.02.2015 FR 1551589

(71) Demandeurs:
  • Université Jean Monnet Saint Etienne
    42100 Saint Etienne (FR)
  • Centre National de la Recherche Scientifique
    75016 Paris (FR)
  • Iff, Wolfgang
    90425 Nurnberg (DE)

(72) Inventeurs:
  • IFF, Wolfgang
    90425 Nurnberg (DE)
  • TISHCHENKO, Alexandre
    69372 Lyon Cedex 08 (FR)

(74) Mandataire: GIE Innovation Competence Group 
310, avenue Berthelot
69372 Lyon Cedex 08
69372 Lyon Cedex 08 (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE CALCUL NUMÉRIQUE DE LA DIFFRACTION D'UNE STRUCTURE