(19)
(11) EP 3 262 672 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.01.2018  Patentblatt  2018/01

(21) Anmeldenummer: 15823162.1

(22) Anmeldetag:  23.12.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01K 1/18(2006.01)
H05B 3/44(2006.01)
 H01K 1/40(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/081155
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/134808 (01.09.2016 Gazette  2016/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 25.02.2015 DE 102015102665

(71) Anmelder: Heraeus Noblelight GmbH
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • GROB, Siegfried
    63505 Langenselbold (DE)
  • KLINECKY, Martin
    63571 Gelnhausen (DE)
  • PIELA, Thomas
    63450 Hanau (DE)
  • LINOW, Sven
    64285 Darmstadt (DE)
  • MEYER, Thomas
    63796 Kahl (DE)

(74) Vertreter: Heraeus IP 
Heraeus Holding GmbH Schutzrechte Heraeusstraße 12-14
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) BESTRAHLUNGSVORRICHTUNG ZUR EINKOPPLUNG VON INFRAROT-STRAHLUNG IN EINE VAKUUM-PROZESSKAMMER MIT EINEM EINSEITIG GESOCKELTEN INFRAROTSTRAHLER