(19)
(11) EP 3 262 674 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.01.2018  Patentblatt  2018/01

(21) Anmeldenummer: 16720700.0

(22) Anmeldetag:  26.02.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/20(2006.01)
H01L 21/36(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2016/100086
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/134706 (01.09.2016 Gazette  2016/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 26.02.2015 DE 102015102801

(71) Anmelder: Dynamic Solar Systems AG
60308 Frankfurt (DE)

(72) Erfinder:
  • PUVANENDRALINGAM, Gangadaran
    56130 Bad Ems (DE)
  • LINDER, Patrick
    91611 Lehrberg (DE)
  • LINDER, Daniel
    91611 Lehrberg (DE)

(74) Vertreter: Kreuzkamp, Markus 
Ludenberger Strasse 1a
40629 Düsseldorf
40629 Düsseldorf (DE)

   


(54) RAUMTEMPERATUR-VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG ELEKTROTECHNISCHER DÜNNSCHICHTEN UND ELEKTROTECHNISCHE DÜNNSCHICHT