LEISTUNGSELEKTRONIK-MODUL MIT EINEM TRÄGER MIT PALLADIUM-SAUERSTOFFDIFFUSIONSBARRIERENSCHICHT UND EINEM DURCH SINTERN DAMIT VERBUNDENEN HALBLEITERELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG - Patent 3262679

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EP 3 262 679 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	03.01.2018 Patentblatt 2018/01

(21)	Anmeldenummer: 16706349.4

(22)	Anmeldetag: 24.02.2016

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 23/495^(2006.01)

H01L 21/60^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2016/053846

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2016/135184 (01.09.2016 Gazette 2016/35)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	BA ME
	Benannte Validierungsstaaten:
	MA MD

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Priorität:

26.02.2015 DE 102015102759

(71)	Anmelder: Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG
	63450 Hanau (DE)

(72)	Erfinder:
	KRÜGER, Frank 61130 Nidderau (DE) FREISE, Gerald 38835 Osterwieck (DE)

(74)	Vertreter: Kilchert, Jochen
	Meissner Bolte Patentanwälte Rechtsanwälte Partnerschaft mbB Postfach 86 06 24 81633 München 81633 München (DE)

(54)	LEISTUNGSELEKTRONIK-MODUL MIT EINEM TRÄGER MIT PALLADIUM-SAUERSTOFFDIFFUSIONSBARRIERENSCHICHT UND EINEM DURCH SINTERN DAMIT VERBUNDENEN HALBLEITERELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG