(19)
(11) EP 3 262 755 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.01.2018  Patentblatt  2018/01

(21) Anmeldenummer: 15813073.2

(22) Anmeldetag:  18.12.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H03H 9/05(2006.01)
B81C 1/00(2006.01)
H03H 9/10(2006.01)
B81B 7/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/080544
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/134803 (01.09.2016 Gazette  2016/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 27.02.2015 DE 102015102869

(71) Anmelder: SnapTrack, Inc.
San Diego, CA 92121 (US)

(72) Erfinder:
  • METZGER, Thomas
    81379 München (DE)
  • PORTMANN, Jürgen
    81677 München (DE)

(74) Vertreter: Wegner, Hans 
Bardehle Pagenberg Partnerschaft mbB Patentanwälte, Rechtsanwälte Prinzregentenplatz 7
81675 München
81675 München (DE)

   


(54) MEMS-BAUELEMENT MIT HOHER INTEGRATIONSDICHTE