(19)
(11) EP 3 265 268 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
02.04.2025  Patentblatt  2025/14

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
24.07.2024  Patentblatt  2024/30

(21) Anmeldenummer: 15713653.2

(22) Anmeldetag:  04.03.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B23K 26/70(2014.01)
G02B 5/00(2006.01)
B23K 101/00(2006.01)
 H01S 3/00(2006.01)
G21K 1/10(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G02B 5/003; B23K 26/704; H05G 2/008
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/054507
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/138951 (09.09.2016 Gazette  2016/36)

(54)

STRAHLFALLE, STRAHLFÜHRUNGSEINRICHTUNG, EUV-STRAHLUNGSERZEUGUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM ABSORBIEREN EINES STRAHLS

BEAM TRAP, BEAM GUIDE DEVICE, EUV RADIATION GENERATING APPARATUS, AND METHOD FOR ABSORBING A BEAM

PIÈGE À FAISCEAU, DISPOSITIF DE GUIDAGE DE FAISCEAU, DISPOSITIF DE PRODUCTION DE RAYONNEMENT EUV ET PROCÉDÉ D'ABSORPTION D'UN FAISCEAU

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
10.01.2018  Patentblatt  2018/02

(73) Patentinhaber: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE
71254 Ditzingen (DE)

(72) Erfinder:
  • LAMBERT, Martin
    71404 Korb (DE)

(74) Vertreter: Kohler Schmid Möbus Patentanwälte 
Partnerschaftsgesellschaft mbB Gropiusplatz 10
70563 Stuttgart
70563 Stuttgart (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
WO-A1-2012/100846
DE-A1- 10 033 787
DE-A1- 102012 219 635
JP-A- S60 119 502
US-A- 4 864 098
 CN-A- 104 048 755
DE-A1- 102010 036 161
DE-A1- 3 027 590
US-A- 4 511 216
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).