(19)
(11) EP 3 268 728 A1

(12)

(43) Date de publication:
17.01.2018  Bulletin  2018/03

(21) Numéro de dépôt: 16713297.6

(22) Date de dépôt:  10.03.2016
(51) Int. Cl.: 
G01N 21/84(2006.01)
G01B 11/06(2006.01)
G01N 21/95(2006.01)
G01N 21/47(2006.01)
 G01B 9/02(2006.01)
G01B 11/24(2006.01)
H01L 21/66(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2016/055071
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2016/146460 (22.09.2016 Gazette  2016/38)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA MD

(30) Priorité: 13.03.2015 FR 1552076

(71) Demandeur: Fogale Nanotech
30900 Nimes (FR)

(72) Inventeur:
  • PERROT, Sylvain
    91120 Palaiseau (FR)

(74) Mandataire: Pontet Allano & Associes 
Parc Les Algorithmes, Bâtiment Platon CS 70003 Saint-Aubin
91192 Gif-sur-Yvette Cedex
91192 Gif-sur-Yvette Cedex (FR)

   


(54) DISPOSITIF ET PROCEDE POUR DETECTER DES DEFAUTS DANS DES ZONES DE LIAISON ENTRE DES ECHANTILLONS TELS QUE DES WAFERS