(19)

(11)

EP 3 268 991 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 17.01.2018  Patentblatt  2018/03 (21) Anmeldenummer: 16726576.8 (22) Anmeldetag:  02.06.2016

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/872(2006.01) H01L 29/06(2006.01) H01L 29/66(2006.01) H01L 29/36(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2016/062507 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2016/193377 (08.12.2016 Gazette  2016/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA MD (30) Priorität: 02.06.2015 DE 102015108728 (71) Anmelder: Diotec Semiconductor AG 79423 Heitersheim (DE)	(72) Erfinder: RESCHKE, Michael 14478 Potsdam (DE) (74) Vertreter: Otten, Roth, Dobler & Partner mbB Patentanwälte  Großtobeler Straße 39 88276 Berg / Ravensburg 88276 Berg / Ravensburg (DE)