(19)

(11)

EP 3 277 699 A1

(12)

(43) Date of publication: 07.02.2018 Bulletin 2018/06 (21) Application number: 16774109.9 (22) Date of filing: 30.03.2016

(51) International Patent Classification (IPC):  C07F 7/10(2006.01) H01L 21/205(2006.01) C23C 16/44(2006.01) C07F 7/20(2006.01) C23C 16/30(2006.01) (86) International application number: PCT/US2016/025011 (87) International publication number: WO 2016/160991 (06.10.2016 Gazette 2016/40)

(84) Designated Contracting States: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Designated Extension States: BA ME Designated Validation States: MA MD (30) Priority: 30.03.2015 US 201562140415 P (71) Applicant: L'AIR LIQUIDE, SOCIÉTÉ ANONYME POUR L'ÉTUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCÉDÉS GEORGES CLAUDE 75007 Paris (FR)	(72) Inventors: KERRIGAN, Sean Princeton, New Jersey 08540 (US) SANCHEZ, Antonio Philadelphia, PA 19103-5317 (US) (74) Representative: Grout de Beaufort, François-Xavier  L'Air Liquide Direction Propriété Intellectuelle 75, quai d'Orsay 75321 Paris Cedex 07 75321 Paris Cedex 07 (FR)