(19)
(11) EP 3 278 350 A1

(12)

(43) Date de publication:
07.02.2018  Bulletin  2018/06

(21) Numéro de dépôt: 16717427.5

(22) Date de dépôt:  29.03.2016
(51) Int. Cl.: 
H01J 37/32(2006.01)
 H01L 21/677(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2016/050699
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2016/156728 (06.10.2016 Gazette  2016/40)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA MD

(30) Priorité: 31.03.2015 FR 1552733

(71) Demandeur: Coating Plasma Industrie
13790 Peynier (FR)

(72) Inventeur:
  • VIARD, Jocelyn
    13960 Sausset-Les-Pins (FR)

(74) Mandataire: Schmidt, Martin Peter 
IXAS Conseil 15, rue Emile Zola
69002 Lyon
69002 Lyon (FR)

   


(54) INSTALLATION POUR LE TRAITEMENT D'OBJETS PAR PLASMA, UTILISATION DE CETTE INSTALLATION ET PROCÉDÉ DE MISE EN OEUVRE DE CETTE INSTALLATION