(19)
(11) EP 3 278 357 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.02.2018  Patentblatt  2018/06

(21) Anmeldenummer: 17732033.0

(22) Anmeldetag:  19.05.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
H05B 3/26(2006.01)
 H01L 21/673(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2017/062095
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2017/220268 (28.12.2017 Gazette  2017/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 20.06.2016 DE 102016111234

(71) Anmelder: Heraeus Noblelight GmbH
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • PIELA, Thomas
    63450 Hanau (DE)
  • VON RIEWEL, Larisa
    51465 Bergisch Gladbach (DE)

(74) Vertreter: Staudt, Armin Walter 
Sandeldamm 24a
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) VORRICHTUNG FÜR DIE THERMISCHE BEHANDLUNG EINES SUBSTRATS SOWIE TRÄGERHORDE UND SUBSTRAT-TRÄGERELEMENT DAFÜR