(19)
(11) EP 3 281 220 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.02.2018  Patentblatt  2018/07

(21) Anmeldenummer: 15717136.4

(22) Anmeldetag:  10.04.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/057859
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/162088 (13.10.2016 Gazette  2016/41)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(71) Anmelder: Ev Group E. Thallner GmbH
4782 St. Florian am Inn (AT)

(72) Erfinder:
  • WAGENLEITNER, Thomas
    A-4971 Aurolzmünster (AT)
  • PLACH, Thomas
    A-4782 St. Florian am Inn (AT)
  • SÜSS, Jürgen Michael
    A-4791 Rainbach (AT)
  • MALLINGER, Jürgen
    A-4973 Senftenbach (AT)

(74) Vertreter: Schneider, Sascha et al
Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22
40878 Ratingen
40878 Ratingen (DE)

   


(54) SUBSTRATHALTER UND VERFAHREN ZUM BONDEN ZWEIER SUBSTRATE