(19)

(11)

EP 3 281 221 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 14.02.2018  Patentblatt  2018/07 (21) Anmeldenummer: 16714394.0 (22) Anmeldetag:  01.04.2016

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/677(2006.01) F16C 32/04(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2016/057268 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2016/162288 (13.10.2016 Gazette  2016/41)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA MD (30) Priorität: 09.04.2015 DE 102015004582 (71) Anmelder: Applied Materials, Inc. Santa Clara, CA 95024 (US)	(72) Erfinder: KLESEN, Christof 64397 Modautal-Ernsthofen (DE) (74) Vertreter: Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB  Josephspitalstr. 15 80331 München 80331 München (DE)