(19)
(11) EP 3 283 918 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.02.2018  Patentblatt  2018/08

(21) Anmeldenummer: 16716886.3

(22) Anmeldetag:  18.04.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 21/36(2006.01)
G02B 21/10(2006.01)
 G02B 21/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/058564
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/166374 (20.10.2016 Gazette  2016/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 17.04.2015 LU 92695

(71) Anmelder: Leica Microsystems CMS GmbH
35578 Wetzlar (DE)

(72) Erfinder:
  • KNEBEL, Werner
    76709 Kronau (DE)
  • SIECKMANN, Frank
    75031 Eppingen (DE)
  • FAHRBACH, Florian
    D-69115 Heidelberg (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR SPIM-UNTERSUCHUNG EINER PROBE