(19)
(11) EP 3 284 110 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.02.2018  Patentblatt  2018/08

(21) Anmeldenummer: 16711776.1

(22) Anmeldetag:  24.03.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
C30B 31/04(2006.01)
 C04B 35/10(2006.01)
H01L 21/22(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/000516
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/165810 (20.10.2016 Gazette  2016/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 15.04.2015 EP 15001071
12.08.2015 EP 15180681

(71) Anmelder: Merck Patent GmbH
64293 Darmstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • DOLL, Oliver
    63128 Dietzenbach (DE)
  • KOEHLER, Ingo
    64291 Darmstadt (DE)
  • BARTH, Sebastian
    64291 Darmstadt (DE)

   


(54) SOL-GEL-BASIERTE DRUCKBARE UND PARASITÄR-DIFFUSIONSHEMMENDE DOTIERMEDIEN ZUR LOKALEN DOTIERUNG VON SILIZIUMWAFERN