(19)
(11) EP 3 286 781 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.02.2018  Patentblatt  2018/09

(21) Anmeldenummer: 16709368.1

(22) Anmeldetag:  09.03.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/677(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/054975
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/169694 (27.10.2016 Gazette  2016/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 22.04.2015 EP 15164605

(71) Anmelder: Integrated Dynamics Engineering GmbH
65479 Raunheim (DE)

(72) Erfinder:
  • WEISKE, Ingo
    60385 Frankfurt am Main (DE)
  • EVERS, Arndt
    65375 Oestrich-Winkel (DE)
  • HARTGERS, Han
    55122 Mainz (DE)
  • BIRKNER, Andreas
    07743 Jena (DE)
  • VAN LOON, Guido
    65479 Raunheim (DE)

(74) Vertreter: Blumbach · Zinngrebe Patent- und Rechtsanwälte 
PartG mbB Alexandrastraße 5
65187 Wiesbaden
65187 Wiesbaden (DE)

   


(54) SERVICEEINRICHTUNG