(19)
(11) EP 3 289 113 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.03.2018  Patentblatt  2018/10

(21) Anmeldenummer: 16714365.0

(22) Anmeldetag:  31.03.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/00(2006.01)
C23C 14/54(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/057065
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/156496 (06.10.2016 Gazette  2016/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 31.03.2015 DE 102015104977

(71) Anmelder: Bühler Alzenau GmbH
63755 Alzenau (DE)

(72) Erfinder:
  • PISTNER, Jürgen
    63755 Alzenau-Michelbach (DE)
  • HAGEDORN, Harro
    60435 Frankfurt am Main (DE)

(74) Vertreter: Pohlmann, Bernd Michael 
RPK Patentanwälte Reinhardt, Pohlmann und Kaufmann Partnerschaft mbB Rossmarkt 12
60311 Frankfurt am Main
60311 Frankfurt am Main (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON BESCHICHTETEN SUBSTRATEN