(19)
(11) EP 3 295 189 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.03.2018  Patentblatt  2018/12

(21) Anmeldenummer: 16724324.5

(22) Anmeldetag:  09.05.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01R 31/00(2006.01)
G01R 29/12(2006.01)
 H01L 27/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/060317
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/180771 (17.11.2016 Gazette  2016/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 11.05.2015 DE 102015005862

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • GRAF, Michael
    71397 Leutenbach (DE)
  • SEITZINGER, Timo
    72800 Eningen U.A. (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR DETEKTION EINER ANZAHL VON ELEKTROSTATISCHEN ENTLADUNGEN