(19)

(11)

EP 3 295 476 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.03.2018  Patentblatt  2018/12 (21) Anmeldenummer: 16721171.3 (22) Anmeldetag:  09.05.2016

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/66(2006.01) H01L 23/58(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2016/060286 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2016/180756 (17.11.2016 Gazette  2016/46)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA MD (30) Priorität: 11.05.2015 DE 102015107328 (71) Anmelder: Robert Bosch GmbH 70442 Stuttgart (DE)	(72) Erfinder: DIETZ, Franz 72820 Willmandingen (DE) SCHNEIDER, Daniel 72800 Eningen Unter Achalm (DE)