(19)
(11) EP 3 298 618 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.03.2018  Patentblatt  2018/13

(21) Anmeldenummer: 16724030.8

(22) Anmeldetag:  19.05.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/061244
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/188848 (01.12.2016 Gazette  2016/48)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 22.05.2015 DE 102015209503

(71) Anmelder: Daferner, Daniel
Büttenberger Strasse 20 b (DE)

(72) Erfinder:
  • Daferner, Daniel
    Büttenberger Strasse 20 b (DE)

(74) Vertreter: Stöckeler, Ferdinand et al
Schoppe, Zimmermann, Stöckeler Zinkler, Schenk & Partner mbB Patentanwälte Radlkoferstrasse 2
81373 München
81373 München (DE)

   


(54) REAKTOR UND VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG EINES SUBSTRATS