(19)
(11) EP 3 304 582 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.04.2018  Patentblatt  2018/15

(21) Anmeldenummer: 16721787.6

(22) Anmeldetag:  06.05.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
 H01L 21/603(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/060165
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/192926 (08.12.2016 Gazette  2016/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 29.05.2015 DE 102015006981

(71) Anmelder: Mühlbauer GmbH & Co. KG
93426 Roding (DE)

(72) Erfinder:
  • BERGMANN, Dieter
    01156 Dresden (DE)
  • MONSER, Hans-Peter
    01277 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Schmidt, Steffen J. 
Wuesthoff & Wuesthoff Patentanwälte PartG mbB Schweigerstrasse 2
81541 München
81541 München (DE)

   


(54) THERMOKOMPRESSIONSVORRICHTUNG MIT EINEM FEDERELEMENT MIT VARIABEL EINSTELLBARER VORSPANNUNG UND VERFAHREN ZUM VERBINDEN VON ELEKTRISCHEN BAUTEILEN MIT EINEM SUBSTRAT UNTER VERWENDUNG DER THERMOKOMPRESSIONSVORRICHTUNG