(19)
(11) EP 3 307 927 A1

(12)

(43) Date de publication:
18.04.2018  Bulletin  2018/16

(21) Numéro de dépôt: 16729826.4

(22) Date de dépôt:  03.06.2016
(51) Int. Cl.: 
C30B 29/40(2006.01)
C30B 33/02(2006.01)
C30B 29/60(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2016/062721
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2016/198341 (15.12.2016 Gazette  2016/50)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA MD

(30) Priorité: 10.06.2015 FR 1555283

(71) Demandeur: Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
75016 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • VEZIAN, Stéphane
    06560 Valbonne (FR)
  • DAMILANO, Benjamin
    06200 Nice (FR)
  • BRAULT, Julien
    06600 Antibes (FR)

(74) Mandataire: Priori, Enrico 
Marks & Clerk France Conseils en Propriété Industrielle Immeuble «Visium» 22, avenue Aristide Briand
94117 Arcueil Cedex
94117 Arcueil Cedex (FR)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION DE NANOSTRUCTURES