(19)
(11) EP 3 317 895 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.05.2018  Patentblatt  2018/19

(21) Anmeldenummer: 16740970.5

(22) Anmeldetag:  30.06.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
H03M 1/08(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/065335
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2017/001576 (05.01.2017 Gazette  2017/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 30.06.2015 DE 102015212242

(71) Anmelder: TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG
79111 Freiburg im Breisgau (DE)

(72) Erfinder:
  • BOCK, Christian
    79108 Freiburg (DE)
  • GREDE, André
    3018 Bern (CH)
  • SCHWERG, Nikolai
    1202 Genève (CH)

(74) Vertreter: Trumpf Patentabteilung 
Trumpf GmbH & Co KG TH501 Patente und Lizenzen Johann-Maus-Straße 2
71254 Ditzingen
71254 Ditzingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ABTASTEN EINES MIT EINEM PLASMAPROZESS IN BEZIEHUNG STEHENDEN SIGNALGEMISCHS