(19)
(11) EP 3 326 436 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
18.10.2023  Patentblatt  2023/42

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
06.09.2023  Patentblatt  2023/36

(21) Anmeldenummer: 16744694.7

(22) Anmeldetag:  21.07.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05H 1/24(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01J 37/32532; H05H 1/2439
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/067418
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2017/013211 (26.01.2017 Gazette  2017/04)

(54)

ELEKTRODENANORDNUNG UND PLASMAQUELLE ZUR ERZEUGUNG EINES NICHT-THERMISCHEN PLASMAS SOWIE EIN VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER PLASMAQUELLE

ELECTRODE ASSEMBLY AND PLASMA SOURCE FOR GENERATING A NON-THERMAL PLASMA, AND METHOD FOR OPERATING A PLASMA SOURCE

ENSEMBLE D'ÉLECTRODES ET SOURCE DE PLASMA POUR GÉNÉRER UN PLASMA NON THERMIQUE AINSI QUE PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'UNE SOURCE DE PLASMA

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 23.07.2015 DE 102015213975

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
30.05.2018  Patentblatt  2018/22

(73) Patentinhaber: terraplasma GmbH
85748 Garching (DE)

(72) Erfinder:
  • MORFILL, Gregor
    81925 München (DE)
  • SHIMIZU, Tetsuji
    Ibaraki 305-0044 (JP)
  • LI, Yangfang
    82140 Olching (DE)

(74) Vertreter: Kordel, Mattias et al
Gleiss Große Schrell und Partner mbB Patentanwälte Rechtsanwälte Leitzstrasse 45
70469 Stuttgart
70469 Stuttgart (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A1- 0 537 613
WO-A2-2009/015371
DE-C1- 10 108 717
US-A1- 2009 121 127
 EP-A1- 2 322 272
WO-A2-2011/133807
US-A- 4 783 716
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).