(19)
(11) EP 3 338 301 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.06.2018  Patentblatt  2018/26

(21) Anmeldenummer: 16745650.8

(22) Anmeldetag:  20.07.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/067231
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2017/029052 (23.02.2017 Gazette  2017/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 19.08.2015 DE 102015113766

(71) Anmelder: Heraeus Noblelight GmbH
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • WEBER, Jürgen
    63801 Kleinostheim (DE)
  • WEBER, Bernhard
    82256 Fürstenfeldbruck (DE)
  • DIEHL, Frank
    61350 Bad Homburg (DE)

(74) Vertreter: Heraeus IP 
Heraeus Holding GmbH Schutzrechte Heraeusstraße 12-14
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) STRAHLERMODUL SOWIE VERWENDUNG DES STRAHLERMODULS