POSITIONSERFASSUNGSVORRICHTUNG

Abstract

 Eine Vorrichtung zur Erfassung der Position eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors, insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors einer Vakuumpumpe, bevorzugt einer Turbomolekularpumpe, umfasst eine im Bereich eines Magnetlagers des Rotors angeordnete berührungslose Sensorik und eine dieser zugeordnete Steuer- und/oder Auswerteeinheit. Dabei umfasst die Sensorik zur Erfassung einer Rotorbewegung entlang einer jeweiligen Messachse jeweils eine Sensorspuleneinheit mit wenigstens zwei Sensorspulen, die über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit jeweils mit einem periodischen elektrischen Erregungssignal beaufschlagbar und relativ zueinander sowie relativ zum Magnetlager so angeordnet sind, dass bei einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der jeweiligen Messachse in den beiden Sensorspulen entweder eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt oder sich die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen ändert und in der anderen Sensorspule zumindest im Wesentlichen unverändert bleibt. Es werden auch ein Verfahren zur Erfassung der Position des Rotors einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, sowie eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einer Positionserfassungsvorrichtung angegeben.

Beschreibung

[0001] Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Erfassung der Position eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors, insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors einer Vakuumpumpe, bevorzugt einer Turbomolekularpumpe. Die Erfindung betrifft ferner eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einer solchen Positionserfassungsvorrichtung.

[0002] Vakuumpumpen wie zum Beispiel Turbomolekularpumpen werden in unterschiedlichen Bereichen der Technik eingesetzt, um ein für einen jeweiligen Prozess notwendiges Vakuum zu schaffen. Turbomolekularpumpen umfassen einen Stator mit mehreren in Richtung einer Rotorachse aufeinanderfolgenden Statorscheiben und einen relativ zu dem Stator um die Rotorachse drehbar gelagerten Rotor, der eine Rotorwelle und mehrere auf der Rotorwelle angeordnete, in axialer Richtung aufeinanderfolgende und zwischen den Statorscheiben angeordnete Rotorscheiben umfasst, wobei die Statorscheiben und die Rotorscheiben jeweils eine pumpaktive Struktur aufweisen.

[0003] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung und ein Verfahren der eingangs genannten Art anzugeben, die eine möglichst genaue schnelle und zuverlässige berührungslose Erfassung der Position eines schnell drehenden, zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors wie insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors einer Vakuumpumpe ermöglichen.

[0004] Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1, durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 13 und durch eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit den Merkmalen des Anspruchs 12 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Vorrichtung sowie bevorzugte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens ergeben sich aus den Unteransprüchen, der vorliegenden Beschreibung sowie der Zeichnung.

[0005] Die erfindungsgemäße Vorrichtung umfasst eine im Bereich eines Magnetlagers des Rotors angeordnete berührungslose Sensorik und eine dieser zugeordnete Steuer- und/oder Auswerteeinheit. Dabei umfasst die Sensorik zur Erfassung einer Rotorbewegung entlang einer jeweiligen Messachse jeweils eine Sensorspuleneinheit mit wenigstens zwei Sensorspulen, die über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit jeweils mit einem periodischen elektrischen Erregungssignal beaufschlagbar sind. Des Weiteren sind die Sensorspulen relativ zueinander sowie relativ zum Magnetlager so angeordnet, dass bei einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der jeweiligen Messachse in den beiden Sensorspulen entweder eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt oder sich die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen ändert und in der anderen Sensorspule zumindest im Wesentlichen unverändert bleibt.

[0006] Als Sensorspulen können insbesondere Luftspulen vorgesehen sein. Die Sensorik kann insbesondere zur Erfassung einer radialen und/oder einer axialen Rotorbewegung vorgesehen sein. Dabei kann die Sensorik zur Erfassung der radialen Position des zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors insbesondere für die Messung einer Verlagerung des Rotors entlang mehrerer Messachsen wie beispielsweise entlang zweier zueinander senkrechter, in einer zur Rotorachse senkrechten Ebene liegender x-und y-Achsen auch mehrere jeweils einer solchen Messachse zugeordnete Sensorspuleneinheiten mit jeweils wenigstens zwei Sensorspulen umfassen.

[0007] Zum Erfassen der axialen Position des Rotors kann die Sensorik insbesondere eine Sensorspuleneinheit mit wenigstens zwei Sensorspulen umfassen, die zur Messung einer Verlagerung des Rotors entlang einer zur Rotorachse parallelen z-Achse vorgesehen sind.

[0008] Durch das periodische elektrische Erregungssignal, bei dem es sich beispielsweise um eine periodische Erregungsspannung handeln kann, wird in einer jeweiligen dem Magnetfeld des benachbarten Magnetlagers ausgesetzten Sensorspule ein Strom induziert, dessen Betrag von der Induktivität der Sensorspule abhängig ist. Indem zudem die Induktivität zumindest einer Sensorspule einer jeweiligen Sensorspuleneinheit vom in Richtung der jeweiligen Messachse bemessenen Abstand der Sensorspule zum Magnetlager abhängig ist, ist über den in der Spule induzierten Strom eine jeweilige Verlagerung des Rotors entlang der betreffenden Messachse messbar.

[0009] Dabei ist eine jeweilige Sensorspule bevorzugt stationär angeordnet.

[0010] Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausbildung kann die Position eines schnell drehenden, zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors z.B. einer Vakuumpumpe, bevorzugt einer Turbomolekularpumpe, auf genaue, schnelle und zuverlässige Weise berührungslos erfasst werden.

[0011] Während bei einer differenziellen Anordnung der beiden Sensorspulen bei einer jeweiligen Rotorbewegung in den beiden Sensorspulen eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt, dient bei einer absoluten Spulenanordnung, bei der sich die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen ändert, nur eine Sensorspule als Messspule, während die andere Sensorspule, in der die Induktivität unverändert bleibt, als Referenzspule dient.

[0012] Bei der differenziellen Spulenanordnung hängt die Induktivität beider Sensorspulen jeweils vom in Richtung der jeweiligen Messachse bemessenen Abstand zwischen einer jeweiligen Sensorspule und dem benachbarten Magnetlager ab. Dagegen ist bei der absoluten Sensoranordnung nur die Induktivität der als Messspule verwendeten Sensorspule vom in Richtung der jeweiligen Messachse bemessenen Abstand zwischen der Messspule und dem Magnetlager abhängig.

[0013] Bevorzugt sind Mittel zur Bildung einer induzierten Sensorspannung aus einem Differenzstrom vorgesehen, der sich aus den in den beiden einer jeweiligen Messachse zugeordneten Sensorspulen induzierten Strömen ergibt. Dabei ist die induzierte Sensorspannung über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit zur Erfassung einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der betreffenden Sensorachse insbesondere pro Periode des Erregungssignals jeweils zumindest zweimal abtastbar. Für eine jeweilige Abtastung kann die Steuer- und/oder Auswerteeinheit insbesondere einen Analog/Digital-Wandler umfassen.

[0014] Die induzierte Sensorspannung ist über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit pro Periode des Erregungssignals beispielsweise jeweils zumindest zweimal bei einem jeweiligen Scheitel und/oder einem jeweiligen Nulldurchgang abtastbar.

[0015] Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit pro Periode des Erregungssignals zur Bildung einer Differenzspannung die Differenz zwischen zwei - insbesondere bei entgegengesetzten Scheitelwerten der induzierten Sensorspannung erhaltenen - Abtastwerten erzeugbar. Dabei kann anhand der Amplitude der Differenzspannung der Betrag der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse und/oder anhand des Vorzeichens der Differenzspannung die Richtung der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse bestimmt werden.

[0016] Auf diese Weise kann aus der induzierten Sensorspannung, insbesondere aus deren Betrag und/oder Phase, die erforderliche Information für die jeweilige Rotorbewegung abgeleitet werden.

[0017] Das periodische elektrische Erregungssignal kann beispielsweise durch ein zumindest im Wesentlichen sinus- oder kosinusförmiges Signal gebildet sein. Grundsätzlich kann das periodische elektrische Erregungssignal jedoch auch eine von einer Sinus- oder Kosinusform abweichende Form besitzen. Es ist insbesondere lediglich sicherzustellen, dass es nicht nur periodisch ist, sondern sich innerhalb einer jeweiligen Periode auch hinreichend variabel verändert, damit in der dem Magnetfeld des benachbarten Magnetlagers ausgesetzten Sensorspule ein zuverlässig messbarer Strom induziert wird.

[0018] Von Vorteil ist insbesondere, wenn die Mittel zur Bildung der induzierten Sensorspannung einen Transformator umfassen, der eingangsseitig mit den wenigstens zwei Sensorspulen einer jeweiligen Sensorspuleneinheit verbundenen und ausgangsseitig mit einer Ausgangsspule versehen ist, an der die induzierte Sensorspannung abgreifbar ist.

[0019] Ein solcher Transformator dient nicht nur der Bildung der induzierten Sensorspannung aus den in den beiden Sensorspulen induzierten Strömen, er kann auch zur elektrischen Verstärkung der Sensorsignale genutzt werden.

[0020] Gemäß einer weiteren zweckmäßigen Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist zwischen dem Transformator und den wenigstens zwei einer jeweiligen Messachse zugeordneten Sensorspulen ein über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit ansteuerbarer, insbesondere analoger Schalter vorgesehen, über den der Transformator während des Erfassungsbetriebs zur Bestimmung des jeweils aktuellen Verstärkungsfaktors des Transformators wiederholt von den beiden Sensorspulen auf eine insbesondere zwei feste Widerstände umfassende Widerstandsanordnung bevorzugt konstanter Impedanz umschaltbar ist.

[0021] Dabei ist über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit bevorzugt anhand eines Vergleichs des bestimmten jeweiligen aktuellen Verstärkungsfaktors des Transformators mit einem insbesondere gespeicherten Referenzwert die jeweils aktuelle Variation des Verstärkungsfaktors des Transformators feststellbar.

[0022] Bevorzugt ist über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit anhand der festgestellten jeweils aktuellen Variation des Verstärkungsfaktors des Transformators die während des Erfassungsbetriebs als Ausgangsspannung erzeugte induzierte Sensorspannung korrigierbar, um insbesondere durch die Temperatur des Transformators bedingte Einflüsse auf die induzierte Sensorspannung zu kompensieren. Gleichzeitig können dadurch beispielsweise auch Toleranzen des Systems ausgeglichen werden.

[0023] Als feste Widerstände der Widerstandsanordnung können insbesondere Präzisionswiderstände vorgesehen sein.

[0024] Die Sensorik, insbesondere eine jeweilige Sensorspuleneinheit, und/oder die Steuer- und/oder Auswerteeinheit sind zweckmäßigerweise auf einer Leiterplatte vorgesehen. Sie können dadurch z.B. als vormontierte Einheit bereitgestellt werden.

[0025] Zur berührungslosen Erfassung der Position des zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors entlang mehrerer Messachsen kann die Sensorik eine entsprechende Mehrzahl von Sensorspuleneinheiten mit jeweils zumindest zwei Sensorspulen umfassen.

[0026] Vorteilhafterweise umfasst eine jeweilige Sensorspuleneinheit zur Bildung einer differenziellen Spulenanordnung, bei der in den beiden Sensorspulen bei einer jeweiligen radialen Rotorbewegung eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt, zwei auf einander gegenüberliegenden Seiten des benachbarten Magnetlagers angeordnete Sensorspulen. Dagegen kann eine jeweilige Sensorspuleneinheit zur Bildung einer absoluten Spulenanordnung, bei der sich bei einer jeweiligen axialen Rotorbewegung die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen ändert und in der als Referenz dienenden anderen Sensorspule unverändert bleibt, mit relativ zueinander konzentrischen Sensorspulen unterschiedlicher Durchmesser ausgeführt sein.

[0027] Es ist beispielsweise auch eine erweiterte absolute Spulenanordnung zur Erfassung der Rotorbewegung entlang mehrerer Messachsen denkbar, bei der die den verschiedenen Messachsen zugeordneten Spuleneinheiten jeweils eine als Messspule dienende Sensorspule aufweisen und für die verschiedenen Spuleneinheiten eine gemeinsame Referenzspule vorgesehen ist.

[0028] Die Sensorspulen können insbesondere als Kunststoff-Luftspulen ausgeführt sein.

[0029] Mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung kann die Rotorposition einer schnell drehenden, zumindest teilweise magnetgelagerten Vakuumpumpe auf genaue, schnelle und zuverlässige Weise berührungslos erfasst werden.

[0030] Zur Messung der Rotorposition entlang einer jeweiligen Messachse können beispielsweise zwei Luftspulen vorgesehen sein, die entweder als differenzielle Anordnung oder als absolute Anordnung vorgesehen sein können. Bei der differenziellen Anordnung liegen die beiden Sensorspulen einander gegenüber. Sie können insbesondere stationär vorgesehen und zur Messung radialer Abweichungen des Rotors insbesondere parallel zum benachbarten Magnetlager bzw. parallel zur Rotorachse ausgerichtet sein. Eine jeweilige Rotorbewegung verursacht gleichzeitig eine Induktivitätserhöhung in der einen Sensorspule und eine Induktivitätsverringerung in der anderen Sensorspule. Bei einer jeweiligen absoluten Spulenanordnung dient eine Spule, deren Induktivität unverändert bleibt, lediglich als Referenzspule. Die Induktivität der anderen, als Messspule dienenden Sensorspule ist vom in Richtung der jeweiligen Messachse bemessenen Abstand zwischen der Sensorspule und dem benachbarten Magnetlager bzw. dem Rotor abhängig. Auch bei einer solchen absoluten Spulenanordnung können die Sensorspulen insbesondere wieder stationär vorgesehen sein. Zur Messung axialer Abweichungen des Rotors mit einer absoluten Spulenanordnung können die beiden Sensorspulen einer jeweiligen Sensorspuleneinheit beispielsweise einen unterschiedlichen Durchmesser aufweisen und insbesondere koaxial zum benachbarten Magnetlager bzw. koaxial zur Rotorachse ausgerichtet sein.

[0031] Bei beiden Varianten ergibt sich aus den in den beiden Sensorspulen einer jeweiligen Sensorspuleneinheit induzierten Strömen ein Differenzstrom, dessen Amplitude und Phase von der Position des Rotors abhängig sind. Der Differenzstrom kann über einen Transformator in eine induzierte Sensorspannung umgewandelt werden, die z.B. zumindest zweimal pro Periode beispielsweise bei einem Scheitel oder einem Nulldurchgang z.B. durch einen Analog/Digital-Wandler abgetastet werden kann. Durch eine entsprechende Software bzw. Programmierung der Steuer- und/oder Auswerteeinheit kann aus den beiden Spannungen eine Differenzspannung gebildet werden, die eine direkte Abbildung der physikalischen Position des Rotors darstellt.

[0032] Um Toleranzen und Temperaturdrifts des Systems auszugleichen, kann über einen insbesondere analogen Schalter wiederholt ein separater Zweig aus Präzisionswiderständen anstelle der Sensorspulen auf die Verstärkerschaltung bzw. den Transformator geschaltet werden, um kurzzeitig einen Verstärker-Korrekturwert zu ermitteln. Die Messwertauswertung kann zyklisch erfolgen, wobei durch den oszillierenden Analogschalter abwechselnd ein Messwert zur Korrektur und ein realer Positionswert des Rotors ermittelt werden kann. Durch eine entsprechende Wahl der Messabfolge und der Sensor-Erregungsspannung wird ein optimales und schnelles Zusammenspiel von Korrektur- und Messwerterfassung ermöglicht. Dabei kann das Erregersignal in einem Messzyklus sowohl in der Phase als auch in der Amplitude mehrfach systematisch variiert werden, um eine höchstmögliche Messsicherheit zu erlangen.

[0033] Zur Erfassung der radialen Bewegung des Rotors können beispielsweise zwei differenzielle Sensorspuleneinheiten vorgesehen sein, über die eine jeweilige Rotorbewegung entlang zweier zueinander senkrechter Messachsen in einer zur Rotorachse senkrechten Ebene gemessen werden können. Bei den differenziellen Sensorspuleneinheiten ist die Induktivität der Sensorspulen jeweils von der Rotorposition entlang der Messachse abhängig. Zur Erfassung der axialen Bewegung des Rotors kann beispielsweise eine absolute Sensorspuleneinheit vorgesehen sein, über die eine jeweilige Rotorbewegung entlang einer zur Rotorachse parallelen Achse gemessen werden kann. In diesem Fall ist lediglich die Induktivität der Messspule von der Rotorposition entlang der Messachse abhängig, während die Induktivität der Referenzspule unabhängig von der Position des Rotors gleich bleibt. Dabei kann beispielsweise eine Sensorspuleneinheit vorgesehen sein, deren Sensorspulen als konzentrische Leiterplattenspulen ausgeführt sind. In beiden Fällen können die Sensorspulen insbesondere als Luftspulen, beispielsweise als Kunststoff-Luftspulen, ausgeführt sein.

[0034] Im Gegensatz zu einer herkömmlichen elektrischen Verstärkung des Rohmesssignals kann erfindungsgemäß über einen Transformator eine elektromagnetische Verstärkung erfolgen, wodurch nicht nur eine hohe Verstärkung, sondern auch ein sehr niedriges Rauschniveau erzielt wird. Eine Beeinflussung des Verstärkungsfaktors durch die Temperatur des magnetischen Kerns des Transformators kann über die mittels des insbesondere analogen Schalters zuschaltbare Widerstandsanordnung kompensiert werden. Dazu kann der Schalter anhand eines Steuersignals der Steuer- und/oder Auswerteeinheit während des Messbetriebs zwischen den einer jeweiligen Messachse zugeordneten beiden Spulen variierender Impedanz und der beispielsweise zwei feste Widerstände umfassenden Widerstandsanordnung konstanter Impedanz umgeschaltet werden.

[0035] Beim Einschalten des Messsystems kann die Ausgangsspannung bei konstanter Impedanz als Referenz gespeichert werden. Während des Messbetriebs kann regelmäßig auf die konstante Impedanz umgeschaltet werden. Aus der aktuellen Ausgangsspannung bei konstanter Impedanz und der gespeicherten Referenz kann die aktuelle Variation des Verstärkungsfaktors festgestellt werden. Dadurch kann die Ausgangsspannung aus dem Sensorbetrieb so korrigiert werden, dass das Messergebnis unabhängig von der Temperatur des Transformators ist.

[0036] Die erfindungsgemäße Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfasst einen Stator, einen relativ zum Rotor um die Rotationsachse drehbar gelagerten Rotor sowie eine erfindungsgemäße Rotorpositionserfassungsvorrichtung. Die Lagerung des Rotors kann entweder an einem Bereich oder an mehreren Bereichen durch ein Magnetlager erfolgen. Insbesondere kann eine sogenannte Hybridlagerung erfolgen, bei eine Lagerstelle von einem Magnetlager und eine weitere Lagerstelle von einem Wälzlager gebildet wird. Es kann aber auch eine reine Magnetlagerung des Rotors erfolgen.

[0037] Insbesondere kann erfindungsgemäß der Rotor so gelagert sein, wie es an anderer Stelle für die Turbomolekularvakuumpumpe gemäß den Fig. 1 bis 5 beschrieben ist.

[0038] Das erfindungsgemäße Verfahren zum Erfassen der Position eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors, insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors einer Vakuumpumpe, bevorzugt einer Turbomolekularvakuumpumpe, zeichnet sich dadurch aus, dass zur Erfassung einer Rotorbewegung entlang einer jeweiligen Messachse wenigstens zwei Sensorspulen einer jeweiligen Sensorspuleneinheit einer im Bereich eines Magnetlagers des Rotors angeordneten berührungslosen Sensorik jeweils mit einem periodischen elektrischen Erregungssignal beaufschlagt und relativ zueinander sowie relativ zum Magnetlager so angeordnet werden, dass bei einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der jeweiligen Messachse in den beiden Sensorspulen entweder eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt oder sich die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen ändert und in der anderen Sensorspule zumindest im Wesentlichen unverändert bleibt.

[0039] Bevorzugt wird aus einem Differenzstrom, der sich aus den in den beiden einer jeweiligen Messachse zugeordneten Sensorspulen induzierten Strömen ergibt, eine induzierte Sensorspannung gebildet. Die induzierte Sensorspannung wird zur Erfassung einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der betreffenden Sensorachse insbesondere pro Periode des Erregungssignals jeweils zumindest zweimal abgetastet.

[0040] Gemäß einer zweckmäßigen praktischen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird pro Periode des Erregungssignals zur Bildung einer Differenzspannung die Differenz zwischen zwei insbesondere bei entgegengesetzten Scheitelwerten der induzierten Sensorspannung erhaltenen Abtastwerten erzeugt und anhand der Amplitude der Differenzspannung der Betrag der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse und/oder anhand des Vorzeichens der Differenzspannung die Richtung der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse bestimmt.

[0041] Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert; in dieser zeigen:

Fig. 1

eine perspektivische Ansicht einer Turbomolekularpumpe,

Fig. 2

eine Ansicht der Unterseite der Turbomolekularpumpe von Fig. 1,

Fig. 3

einen Querschnitt der Turbomolekularpumpe längs der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie A-A,

Fig. 4

eine Querschnittsansicht der Turbomolekularpumpe längs der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie B-B,

Fig. 5

eine Querschnittsansicht der Turbomolekularpumpe längs der in Fig. 2 gezeigten Schnittlinie C-C,

Fig. 6

eine schematische Darstellung einer eine differenzielle Spulenanordnung aufweisenden beispielhaften Sensorspuleneinheit einer erfindungsgemäßen Positionserfassungsvorrichtung,

Fig. 7

eine schematische Darstellung einer beispielhaften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Positionserfassungsvorrichtung mit zwei jeweils eine differenzielle Spulenanordnung aufweisenden Sensorspuleneinheiten zur berührungslosen Erfassung der radialen Rotorbewegung,

Fig. 8

eine schematische Darstellung einer eine absolute Spulenanordnung aufweisenden beispielhaften Sensorspuleneinheit einer erfindungsgemäßen Positionserfassungsvorrichtung,

Fig. 9

eine schematische Darstellung einer beispielhaften Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Positionserfassungsvorrichtung mit einer eine absolute Spulenanordnung aufweisenden Sensorspuleneinheit zur berührungslosen Erfassung der axialen Rotorbewegung, wobei die Sensorspulen als konzentrische Leiterplattenspulen ausgeführt sind,

Fig. 10

eine schematische Darstellung einer beispielhaften erweiterten absoluten Spulenanordnung zur Erfassung der Rotorbewegung entlang mehrerer Messachsen, wobei die den verschiedenen Messachsen zugeordneten Spuleneinheiten jeweils eine als Messspule dienende Sensorspule aufweisen und für die verschiedenen Spuleneinheiten eine gemeinsame Referenzspule vorgesehen ist,

Fig. 11

beispielhafte Signalformen des elektrischen Erregungssignals, der in den Sensorspulen induzierten Ströme, des Differenzstroms und der induzierten Sensorspannung bei einer positiven Abweichung der Rotorposition aus dem geometrischen Zentrum,

Fig. 12

beispielhafte Signalformen des elektrischen Erregungssignals, der in den Sensorspulen induzierten Ströme, des Differenzstroms und der induzierten Sensorspannung bei einer negativen Abweichung der Rotorposition aus dem geometrischen Zentrum,

Fig. 13

eine schematische Darstellung einer beispielhaften Temperaturkompensations-Schaltung einer erfindungsgemäßen Positionserfassungsvorrichtung, und

Fig. 14

eine schematische Darstellung eines beispielhaften, mehrere Kompensationszyklen und Erfassungszyklen umfassenden vollständigen Messzyklus einer erfindungsgemäßen Positionserfassungsvorrichtung.

[0042] Die in Fig. 1 gezeigte Turbomolekularpumpe 111, bei der die Erfindung vorgesehen sein kann, umfasst einen von einem Einlassflansch 113 umgebenen Pumpeneinlass 115, an welchen in an sich bekannter Weise ein nicht dargestellter Rezipient angeschlossen werden kann. Das Gas aus dem Rezipienten kann über den Pumpeneinlass 115 aus dem Rezipienten gesaugt und durch die Pumpe hindurch zu einem Pumpenauslass 117 gefördert werden, an den eine Vorvakuumpumpe, wie etwa eine Drehschieberpumpe, angeschlossen sein kann.

[0043] Der Einlassflansch 113 bildet bei der Ausrichtung der Vakuumpumpe gemäß Fig. 1 das obere Ende des Gehäuses 119 der Vakuumpumpe 111. Das Gehäuse 119 umfasst ein Unterteil 121, an welchem seitlich ein Elektronikgehäuse 123 angeordnet ist. In dem Elektronikgehäuse 123 sind elektrische und/oder elektronische Komponenten der Vakuumpumpe 111 untergebracht, z.B. zum Betreiben eines in der Vakuumpumpe angeordneten Elektromotors 125. Am Elektronikgehäuse 123 sind mehrere Anschlüsse 127 für Zubehör vorgesehen. Außerdem sind eine Datenschnittstelle 129, z.B. gemäß dem RS485-Standard, und ein Stromversorgungsanschluss 131 am Elektronikgehäuse 123 angeordnet.

[0044] Am Gehäuse 119 der Turbomolekularpumpe 111 ist ein Fluteinlass 133, insbesondere in Form eines Flutventils, vorgesehen, über den die Vakuumpumpe 111 geflutet werden kann. Im Bereich des Unterteils 121 ist ferner noch ein Sperrgasanschluss 135, der auch als Spülgasanschluss bezeichnet wird, angeordnet, über welchen Spülgas zum Schutz des Elektromotors 125 vor dem von der Pumpe geförderten Gas in den Motorraum 137, in welchem der Elektromotor 125 in der Vakuumpumpe 111 untergebracht ist, gebracht werden kann. Im Unterteil 121 sind ferner noch zwei Kühlmittelanschlüsse 139 angeordnet, wobei einer der Kühlmittelanschlüsse als Einlass und der andere Kühlmittelanschluss als Auslass für Kühlmittel vorgesehen ist, das zu Kühlzwecken in die Vakuumpumpe geleitet werden kann.

[0045] Die untere Seite 141 der Vakuumpumpe kann als Standfläche dienen, sodass die Vakuumpumpe 111 auf der Unterseite 141 stehend betrieben werden kann. Die Vakuumpumpe 111 kann aber auch über den Einlassflansch 113 an einem Rezipienten befestigt werden und somit gewissermaßen hängend betrieben werden.

[0046] Außerdem kann die Vakuumpumpe 111 so gestaltet sein, dass sie auch in Betrieb genommen werden kann, wenn sie auf andere Weise ausgerichtet ist als in Fig. 1 gezeigt ist. Es lassen sich auch Ausführungsformen der Vakuumpumpe realisieren, bei der die Unterseite 141 nicht nach unten, sondern zur Seite gewandt oder nach oben gerichtet angeordnet werden kann.

[0047] An der Unterseite 141, die in Fig. 2 dargestellt ist, sind noch diverse Schrauben 143 angeordnet, mittels denen hier nicht weiter spezifizierte Bauteile der Vakuumpumpe aneinander befestigt sind. Beispielsweise ist ein Lagerdeckel 145 an der Unterseite 141 befestigt.

[0048] An der Unterseite 141 sind außerdem Befestigungsbohrungen 147 angeordnet, über welche die Pumpe 111 beispielsweise an einer Auflagefläche befestigt werden kann.

[0049] In den Figuren 2 bis 5 ist eine Kühlmittelleitung 148 dargestellt, in welcher das über die Kühlmittelanschlüsse 139 ein- und ausgeleitete Kühlmittel zirkulieren kann.

[0050] Wie die Schnittdarstellungen der Figuren 3 bis 5 zeigen, umfasst die Vakuumpumpe mehrere Prozessgaspumpstufen zur Förderung des an dem Pumpeneinlass 115 anstehenden Prozessgases zu dem Pumpenauslass 117.

[0051] In dem Gehäuse 119 ist ein Rotor 149 angeordnet, der eine um eine Rotationsachse 151 drehbare Rotorwelle 153 aufweist.

[0052] Die Turbomolekularpumpe 111 umfasst mehrere pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete turbomolekulare Pumpstufen mit mehreren an der Rotorwelle 153 befestigten radialen Rotorscheiben 155 und zwischen den Rotorscheiben 155 angeordneten und in dem Gehäuse 119 festgelegten Statorscheiben 157. Dabei bilden eine Rotorscheibe 155 und eine benachbarte Statorscheibe 157 jeweils eine turbomolekulare Pumpstufe. Die Statorscheiben 157 sind durch Abstandsringe 159 in einem gewünschten axialen Abstand zueinander gehalten.

[0053] Die Vakuumpumpe umfasst außerdem in radialer Richtung ineinander angeordnete und pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete Holweck-Pumpstufen. Der Rotor der Holweck-Pumpstufen umfasst eine an der Rotorwelle 153 angeordnete Rotornabe 161 und zwei an der Rotornabe 161 befestigte und von dieser getragene zylindermantelförmige Holweck-Rotorhülsen 163, 165, die koaxial zur Rotationsachse 151 orientiert und in radialer Richtung ineinander geschachtelt sind. Ferner sind zwei zylindermantelförmige Holweck-Statorhülsen 167, 169 vorgesehen, die ebenfalls koaxial zu der Rotationsachse 151 orientiert und in radialer Richtung gesehen ineinander geschachtelt sind.

[0054] Die pumpaktiven Oberflächen der Holweck-Pumpstufen sind durch die Mantelflächen, also durch die radialen Innen- und/oder Außenflächen, der Holweck-Rotorhülsen 163, 165 und der Holweck-Statorhülsen 167, 169 gebildet. Die radiale Innenfläche der äußeren Holweck-Statorhülse 167 liegt der radialen Außenfläche der äußeren Holweck-Rotorhülse 163 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 171 gegenüber und bildet mit dieser die der Turbomolekularpumpen nachfolgende erste Holweck-Pumpstufe. Die radiale Innenfläche der äußeren Holweck-Rotorhülse 163 steht der radialen Außenfläche der inneren Holweck-Statorhülse 169 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 173 gegenüber und bildet mit dieser eine zweite Holweck-Pumpstufe. Die radiale Innenfläche der inneren Holweck-Statorhülse 169 liegt der radialen Außenfläche der inneren Holweck-Rotorhülse 165 unter Ausbildung eines radialen Holweck-Spalts 175 gegenüber und bildet mit dieser die dritte Holweck-Pumpstufe.

[0055] Am unteren Ende der Holweck-Rotorhülse 163 kann ein radial verlaufender Kanal vorgesehen sein, über den der radial außenliegende Holweck-Spalt 171 mit dem mittleren Holweck-Spalt 173 verbunden ist. Außerdem kann am oberen Ende der inneren Holweck-Statorhülse 169 ein radial verlaufender Kanal vorgesehen sein, über den der mittlere Holweck-Spalt 173 mit dem radial innenliegenden Holweck-Spalt 175 verbunden ist. Dadurch werden die ineinander geschachtelten Holweck-Pumpstufen in Serie miteinander geschaltet. Am unteren Ende der radial innenliegenden Holweck-Rotorhülse 165 kann ferner ein Verbindungskanal 179 zum Auslass 117 vorgesehen sein.

[0056] Die vorstehend genannten pumpaktiven Oberflächen der Holweck-Statorhülsen 163, 165 weisen jeweils mehrere spiralförmig um die Rotationsachse 151 herum in axialer Richtung verlaufende Holweck-Nuten auf, während die gegenüberliegenden Mantelflächen der Holweck-Rotorhülsen 163, 165 glatt ausgebildet sind und das Gas zum Betrieb der Vakuumpumpe 111 in den Holweck-Nuten vorantreiben.

[0057] Zur drehbaren Lagerung der Rotorwelle 153 sind ein Wälzlager 181 im Bereich des Pumpenauslasses 117 und ein Permanentmagnetlager 183 im Bereich des Pumpeneinlasses 115 vorgesehen.

[0058] Im Bereich des Wälzlagers 181 ist an der Rotorwelle 153 eine konische Spritzmutter 185 mit einem zu dem Wälzlager 181 hin zunehmenden Außendurchmesser vorgesehen. Die Spritzmutter 185 steht mit mindestens einem Abstreifer eines Betriebsmittelspeichers in gleitendem Kontakt. Der Betriebsmittelspeicher umfasst mehrere aufeinander gestapelte saugfähige Scheiben 187, die mit einem Betriebsmittel für das Wälzlager 181, z.B. mit einem Schmiermittel, getränkt sind.

[0059] Im Betrieb der Vakuumpumpe 111 wird das Betriebsmittel durch kapillare Wirkung von dem Betriebsmittelspeicher über den Abstreifer auf die rotierende Spritzmutter 185 übertragen und in Folge der Zentrifugalkraft entlang der Spritzmutter 185 in Richtung des größer werdenden Außendurchmessers der Spritzmutter 92 zu dem Wälzlager 181 hin gefördert, wo es z.B. eine schmierende Funktion erfüllt. Das Wälzlager 181 und der Betriebsmittelspeicher sind durch einen wannenförmigen Einsatz 189 und den Lagerdeckel 145 in der Vakuumpumpe eingefasst.

[0060] Das Permanentmagnetlager 183 umfasst eine rotorseitige Lagerhälfte 191 und eine statorseitige Lagerhälfte 193, welche jeweils einen Ringstapel aus mehreren in axialer Richtung aufeinander gestapelten permanentmagnetischen Ringen 195, 197 umfassen. Die Ringmagnete 195, 197 liegen einander unter Ausbildung eines radialen Lagerspalts 199 gegenüber, wobei die rotorseitigen Ringmagnete 195 radial außen und die statorseitigen Ringmagnete 197 radial innen angeordnet sind. Das in dem Lagerspalt 199 vorhandene magnetische Feld ruft magnetische Abstoßungskräfte zwischen den Ringmagneten 195, 197 hervor, welche eine radiale Lagerung der Rotorwelle 153 bewirken. Die rotorseitigen Ringmagnete 195 sind von einem Trägerabschnitt 201 der Rotorwelle 153 getragen, welcher die Ringmagnete 195 radial außenseitig umgibt. Die statorseitigen Ringmagnete 197 sind von einem statorseitigen Trägerabschnitt 203 getragen, welcher sich durch die Ringmagnete 197 hindurch erstreckt und an radialen Streben 205 des Gehäuses 119 aufgehängt ist. Parallel zu der Rotationsachse 151 sind die rotorseitigen Ringmagnete 195 durch ein mit dem Trägerabschnitt 203 gekoppeltes Deckelelement 207 festgelegt. Die statorseitigen Ringmagnete 197 sind parallel zu der Rotationsachse 151 in der einen Richtung durch einen mit dem Trägerabschnitt 203 verbundenen Befestigungsring 209 sowie einen mit dem Trägerabschnitt 203 verbundenen Befestigungsring 211 festgelegt. Zwischen dem Befestigungsring 211 und den Ringmagneten 197 kann außerdem eine Tellerfeder 213 vorgesehen sein.

[0061] Innerhalb des Magnetlagers ist ein Not- bzw. Fanglager 215 vorgesehen, welches im normalen Betrieb der Vakuumpumpe 111 ohne Berührung leer läuft und erst bei einer übermäßigen radialen Auslenkung des Rotors 149 relativ zu dem Stator in Eingriff gelangt, um einen radialen Anschlag für den Rotor 149 zu bilden, da eine Kollision der rotorseitigen Strukturen mit den statorseitigen Strukturen verhindert wird. Das Fanglager 215 ist als ungeschmiertes Wälzlager ausgebildet und bildet mit dem Rotor 149 und/oder dem Stator einen radialen Spalt, welcher bewirkt, dass das Fanglager 215 im normalen Pumpbetrieb außer Eingriff ist. Die radiale Auslenkung, bei der das Fanglager 215 in Eingriff gelangt, ist groß genug bemessen, sodass das Fanglager 215 im normalen Betrieb der Vakuumpumpe nicht in Eingriff gelangt, und gleichzeitig klein genug, sodass eine Kollision der rotorseitigen Strukturen mit den statorseitigen Strukturen unter allen Umständen verhindert wird.

[0062] Die Vakuumpumpe 111 umfasst den Elektromotor 125 zum drehenden Antreiben des Rotors 149. Der Anker des Elektromotors 125 ist durch den Rotor 149 gebildet, dessen Rotorwelle 153 sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckt. Auf den sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckenden Abschnitt der Rotorwelle 153 kann radial außenseitig oder eingebettet eine Permanentmagnetanordnung angeordnet sein. Zwischen dem Motorstator 217 und dem sich durch den Motorstator 217 hindurch erstreckenden Abschnitt des Rotors 149 ist ein Zwischenraum 219 angeordnet, welcher einen radialen Motorspalt umfasst, über den sich der Motorstator 217 und die Permanentmagnetanordnung zur Übertragung des Antriebsmoments magnetisch beeinflussen können.

[0063] Der Motorstator 217 ist in dem Gehäuse innerhalb des für den Elektromotor 125 vorgesehenen Motorraums 137 festgelegt. Über den Sperrgasanschluss 135 kann ein Sperrgas, das auch als Spülgas bezeichnet wird, und bei dem es sich beispielsweise um Luft oder um Stickstoff handeln kann, in den Motorraum 137 gelangen. Über das Sperrgas kann der Elektromotor 125 vor Prozessgas, z.B. vor korrosiv wirkenden Anteilen des Prozessgases, geschützt werden. Der Motorraum 137 kann auch über den Pumpenauslass 117 evakuiert werden, d.h. im Motorraum 137 herrscht zumindest annäherungsweise der von der am Pumpenauslass 117 angeschlossenen Vorvakuumpumpe bewirkte Vakuumdruck.

[0064] Zwischen der Rotornabe 161 und einer den Motorraum 137 begrenzenden Wandung 221 kann außerdem eine sogenannte und an sich bekannte Labyrinthdichtung 223 vorgesehen sein, insbesondere um eine bessere Abdichtung des Motorraums 217 gegenüber den radial außerhalb liegenden Holweck-Pumpstufen zu erreichen.

[0065] Die Fig. 6 bis 14 zeigen unterschiedliche beispielhafte Ausführungsformen einer erfindungsgemäßen Vorrichtung 10 zur Erfassung der Position eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors 22, insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors einer Vakuumpumpe. Dabei kann eine solche Positionserfassungsvorrichtung 10 beispielsweise zur Erfassung der Position eines Rotors einer Vakuumpumpe eingesetzt werden, wie sie im Zusammenhang mit den Fig. 1 bis 5 beschrieben wurde.

[0066] Eine Positionserfassungsvorrichtung 10 umfasst eine im Bereich eines Magnetlagers des Rotors, beispielsweise im Bereich des Permanentmagnetlagers 183 der Vakuumpumpe gemäß den Fig. 1 bis 5, angeordnete berührungslose Sensorik 12 und eine dieser zugeordnete Steuer- und/oder Auswerteeinheit 14. Bei einem Einsatz der Positionserfassungsvorrichtung 10 in einer in den Fig. 1 bis 5 dargestellten Vakuumpumpe kann die Steuer- und/oder Auswerteeinheit 14 der Positionserfassungsvorrichtung 10 in die Steuereinheit der Vakuumpumpe integriert oder auch getrennt von dieser vorgesehen sein.

[0067] Die Sensorik 12 umfasst zur Erfassung einer Rotorbewegung entlang einer jeweiligen Messachse S_i jeweils eine Sensorspuleneinheit aus zwei insbesondere als Luftspulen ausgeführten Sensorspulen 16, 18, die über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit 14 jeweils mit einem periodischen elektrischen Erregungssignal U_ext beaufschlagbar und relativ zueinander sowie relativ zum benachbarten Magnetlager 183 so angeordnet sind, dass bei einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der jeweiligen Messachse S_i in den beiden Sensorspulen 16, 18 entweder eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt oder sich die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen 16, 18 ändert und in der anderen Sensorspule zumindest im Wesentlichen unverändert bleibt (vgl. die Fig. 8 bis 10).

[0068] Die Positionserfassungsvorrichtung 10 umfasst jeweils Mittel 20 zur Bildung einer induzierten Sensorspannung U_sen aus einem Differenzstrom i_diff, der sich aus den in den beiden einer jeweiligen Messachse S_i zugeordneten Sensorspulen 16, 18 induzierten Strömen i₁, i₂ ergibt (vgl. insbesondere die Fig. 6, 8, 10 und 13). Die so gebildete induzierte Sensorspannung U_sen kann anschließend über die Steuerund/oder Auswerteeinheit 14 zur Erfassung einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der betreffenden Sensorachse S_i pro Periode des Erregungssignals U_ext jeweils zumindest zweimal abgetastet werden (vgl. die Fig. 11 und 12).

[0069] Dabei kann die induzierte Sensorspannung U_sen über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit 14 pro Periode des Erregungssignals U_ext jeweils zumindest zweimal insbesondere bei einem jeweiligen Scheitel und/oder einem jeweiligen Nulldurchgang abgetastet werden (vgl. insbesondere die Fig. 11, 12 und 14).

[0070] Die Steuer- und/oder Auswerteeinheit 14 kann jeweils so ausgeführt sein, dass pro Periode des Erregungssignals U_ext zur Bildung einer Differenzspannung die Differenz zwischen zwei beispielsweise bei entgegengesetzten Scheitelwerten der induzierten Sensorspannung U_sen erhaltenen Abtastwerten erzeugbar und anhand der Amplitude der Differenzspannung der Betrag der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse S_i und/oder anhand des Vorzeichens der Differenzspannung die Richtung der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse S_i bestimmbar ist (vgl. insbesondere die Fig. 11 und 12).

[0071] Wie aus den Fig. 11 und 12 ersichtlich, kann das periodische elektrische Erregungssignal U_ext beispielsweise durch ein zumindest im Wesentlichen sinus- oder kosinusförmiges Signal, beispielsweise eine entsprechende Erregungsspannung, gebildet sein. Grundsätzlich kann das periodische elektrische Erregungssignal U_ext jedoch auch eine von einer Sinus- oder Kosinusform abweichende Form besitzen. Anstatt bei einem jeweiligen Scheitel kann die Abtastung beispielsweise auch bei einem jeweiligen Nulldurchgang des periodischen elektrischen Erregungssignals U_ext erfolgen.

[0072] Wie insbesondere aus den Fig. 6 bis 8, 10 und 12 ersichtlich, können die Mittel zur Bildung der induzierten Sensorspannung U_sen aus dem Differenzstrom i_diff, der sich aus den induzierten Strömen i₁, i₂ ergibt, einen eingangsseitig mit den beiden Sensorspulen 16, 18 verbundenen und ausgangsseitig eine Ausgangsspule 24 aufweisenden Transformator 20 umfassen. Dabei sind die beiden Sensorspulen 16, 18 so an den Transformator 20 angeschlossen, dass sich eingangsseitig ein Differenzstrom idiff (vgl. auch die beiden Fig. 11 und 12) aus den induzierten Strömen i₁, i₂ ergibt. Zudem dient der Transformator 20 sowohl einer elektrischen Verstärkung als auch der Umwandlung des Differenzstroms i_diff in die induzierte Sensorspannung U_sen.

[0073] Die Sensorik 12 und/oder die Steuer- und/oder Auswerteeinheit 14 können auf einer Leiterplatte 26 vorgesehen sein (vgl. die Fig. 7 und 9).

[0074] Zur berührungslosen Erfassung der Position des zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors 22 entlang mehrerer Messachsen S_i kann die Sensorik 12 eine entsprechende Mehrzahl von Sensorspuleneinheiten aus jeweils zwei insbesondere als Luftspulen ausgeführten Sensorspulen 16, 18 umfassen (vgl. die Fig. 6 bis 9).

[0075] Fig. 6 zeigt eine einer Messachse S_i zugeordnete beispielhafte Sensorspuleneinheit mit einer differenziellen Spulenanordnung, bei der die beiden jeweils mit dem periodischen elektrischen Erregungssignal U_ext beaufschlagten Sensorspulen 16, 18 relativ zueinander sowie relativ zum benachbarten Magnetlager bzw. Rotor 22 so angeordnet sind, dass bei einer jeweiligen Rotorbewegung in Richtung der Messachse S_i eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt.

[0076] Für eine Erfassung der radialen Bewegung des Rotors 22 kann gemäß Fig. 7 beispielsweise jeder der beiden Messachsen x und y jeweils eine solche differenzielle Spulenanordnung aus zwei Sensorspulen 16_x, 18_x bzw. 16_y, 18_y zugeordnet sein. Die Induktivität der beiden Sensorspulen 16, 18 einer jeweiligen Sensorspuleneinheit ist somit jeweils von deren in Richtung der Messachse S_i gemessenen Abstand vom Magnetlager bzw. Rotor 22 abhängig.

[0077] Fig. 8 zeigt eine einer Messachse S_i zugeordnete beispielhafte Sensorspuleneinheit mit einer absoluten Spulenanordnung, bei der die beiden jeweils mit dem periodischen elektrischen Erregungssignal U_ext beaufschlagten Sensorspulen 16, 18 relativ zueinander sowie relativ zum benachbarten Magnetlager bzw. Rotor 22 so angeordnet sind, dass sich die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen 16, 18 ändert und in der anderen Sensorspule unverändert bleibt.

[0078] Für eine Erfassung der axialen Bewegung des Rotors 22 kann gemäß Fig. 9 beispielsweise der Messachse z, die der Rotorachse entspricht, eine solche absolute Spulenanordnung aus zwei Sensorspulen 16_z, 18_z zugeordnet sein. Bei diesem in Fig. 9 dargestellten Ausführungsbeispiel umfasst diese absolute Sensorspulenanordnung beispielsweise zwei auf einer Leiterplatte 26 vorgesehene, sowohl relativ zueinander als auch relativ zur Messachse z bzw. Rotorachse konzentrische Sensorspulen 16_z, 18_z unterschiedlichen Durchmessers. Dabei dient die Sensorspule 16_z als Messspule und die Sensorspule 18_z als Referenzspule. Die Induktivität der Messspule 16_z ist im vorliegenden Fall von deren in Richtung der Messachse z bzw. in Richtung der Rotorachse gemessenen Abstand vom Magnetlager bzw. vom Rotor abhängig. Die Induktivität der Referenzspule 18_z bleibt konstant.

[0079] In beiden in den Fig. 6 und 7 bzw. 8 und 9 dargestellten Ausführungsbeispielen ergibt sich jeweils ein Differenzstrom i_diff aus den in den beiden einer jeweiligen Messachse S_i zugeordneten Sensorspulen 16, 18 induzierten Strömen i₁, i₂ (vgl. auch die Fig. 11 und 12). Dabei kann die am Ausgang des Transformators 20 erzeugte induzierte Sensorspannung U_sen zur Erfassung einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der betreffenden Sensorachse S_i wie in den Fig. 11 und 12 dargestellt beispielsweise pro Periode des Erregungssignals U_ext jeweils zumindest zweimal abgetastet werden. Dabei ist das periodische elektrische Erregungssignal U_ext im vorliegenden Fall beispielsweise durch eine sinus- oder kosinusförmige Spannung gebildet. Wie eingangs bereits erwähnt, ist grundsätzlich jedoch auch eine von einer Sinus- oder Kosinusform abweichende Form des periodischen elektrischen Erregungssignals denkbar.

[0080] Wie in den Fig. 11 und 12 dargestellt, kann die induzierte Sensorspannung U_sen über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit 14 pro Periode des Erregungssignals U_ext beispielsweise jeweils zumindest zweimal bei einem jeweiligen Scheitel abgetastet werden. Es ist jedoch beispielsweise auch ein Abtasten bei einem jeweiligen Nulldurchgang denkbar.

[0081] Zudem wird im vorliegenden Fall über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit 14 pro Periode des Erregungssignals U_ext zur Bildung einer Differenzspannung U_An-U_Bn die Differenz zwischen zwei beispielsweise bei entgegengesetzten Scheitelwerten der induzierten Sensorspannung U_sen erhaltenen Abtastwerten U_An und U_Bn erzeugt. Anhand der Amplitude der Differenzspannung kann der Betrag der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse S_i bestimmt werden. Alternativ oder zusätzlich kann anhand des Vorzeichens der Differenzspannung die Richtung der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse S_i bestimmt werden.

[0082] Fig. 11 zeigt beispielhafte Signalformen des elektrischen Erregungssignals U_ext, der in den Sensorspulen 16, 18 induzierten Ströme i₁, i₂, des Differenzstroms i_diff und der induzierten Sensorspannung U_sen bei einer positiven Abweichung der Rotorposition aus dem geometrischen Zentrum.

[0083] Auch Fig. 12 zeigt wieder beispielhafte Signalformen des elektrischen Erregungssignals U_ext, der in den Sensorspulen 16, 18 induzierten Ströme i₁, i₂, des Differenzstroms i_diff und der abgetasteten induzierten Sensorspannung U_sen, wobei im vorliegenden Fall jedoch eine negative Abweichung der Rotorposition aus dem geometrischen Zentrum vorliegt.

[0084] Die induzierte Sensorspannung U_sen besitzt bei den dargestellten Ausführungsbeispielen eine ähnliche Signalform wie das elektrische Erregungssignal U_ext, wobei jedoch die Amplitude der induzierten Sensorspannung U_sen zur Positionsabweichung des Rotors entlang einer jeweiligen Messachse S_i proportional ist. Mit unterschiedlicher Abweichungsrichtung ist die induzierte Sensorspannung U_sen entweder mitphasig oder gegenphasig zum elektrischen Erregungssignal oder zur Erregungsspannung U_ext. Aus der zweimaligen Abtastung der induzierten Sensorspannung U_sen bei den Scheiteln U_An, U_Bn ergibt sich der Messausgang U_posn=U_An-U_Bn, der die physikalische Position des Magnetlagers bzw. des Rotors abbildet.

[0085] Fig. 10 zeigt eine beispielhafte erweitere absolute Spulenanordnung zur Erfassung der Rotorbewegung entlang mehrerer Messachsen S_i, wobei die den verschiedenen Messachsen S_i zugeordneten Spuleneinheiten jeweils eine als Messspule dienende Sensorspule 16_i aufweisen und für die verschiedenen Spuleneinheiten eine gemeinsame Referenzspule 18 vorgesehen ist. Aus den verschiedenen Spuleneinheiten ergeben sich über die zugeordneten Transformatoren 20 in der zuvor beschriebenen Weise die entsprechenden induzierten Spannungen U_sen.

[0086] Fig. 13 zeigt eine beispielhafte Temperaturkompensations-Schaltung einer erfindungsgemäßen Positionserfassungsvorrichtung 10. Danach kann zwischen dem Transformator 20 und den beiden einer jeweiligen Messachse S_i zugeordneten Sensorspulen 16, 18 ein über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit 14 ansteuerbarer, insbesondere analoger Schalter 28 vorgesehen sein. Über diesen Schalter 28 kann der Transformator 20 während des Erfassungsbetriebs zur Bestimmung des jeweils aktuellen Verstärkungsfaktors des Transformators 20 wiederholt von den beiden Sensorspulen 16, 18 auf eine insbesondere zwei feste Widerstände 30, 32 umfassende Widerstandsanordnung 34 konstanter Impedanz umgeschaltet werden.

[0087] Über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit 14 kann anhand eines Vergleichs des bestimmten jeweiligen aktuellen Verstärkungsfaktors des Transformators 20 mit einem insbesondere gespeicherten Referenzwert die jeweils aktuelle Variation des Verstärkungsfaktors des Transformators 20 festgestellt werden. Anhand der festgestellten Variation kann über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit 14 schließlich die während des Erfassungsbetriebs als Ausgangsspannung erzeugte induzierte Sensorspannung U_sen korrigiert werden, um insbesondere durch die Temperatur des Transformators 20 und Toleranzen des Systems bedingte Einflüsse auf die induzierte Sensorspannung U_sen zu kompensieren. Als feste Widerstände 30, 32 der Widerstandsanordnung 34 können insbesondere Präzisionswiderstände vorgesehen sein.

[0088] Während die Temperaturkompensations-Schaltung im vorliegenden Fall beispielsweise in Verbindung mit einer Sensorspuleneinheit mit einer differenziellen Spulenanordnung vorgesehen ist, kann eine entsprechende Temperaturkompensations-Schaltung auch in Verbindung mit einer Sensorspuleneinheit mit einer absoluten Spulenanordnung vorgesehen sein. Im Übrigen kann die Positionserfassungsvorrichtung 10 zumindest im Wesentlichen wieder so ausgeführt sein, wie dies zuvor beschrieben wurde. So erfolgt auch im vorliegenden Fall anders als bei einer herkömmlichen elektrischen Verstärkung des Rohmesssignals erfindungsgemäß eine elektromagnetische Verstärkung über einen Transformator 20, wodurch sich eine hohe Verstärkung und ein sehr niedriges Rauschniveau ergeben.

[0089] Bei der in der Fig. 13 dargestellten, der Kompensation von Toleranzen und Temperatureinflüssen des Systems dienenden Temperaturkompensations-Schaltung, kann der Schalter 28 über ein entsprechendes Steuersignal der Steuer- und/oder Auswerteeinheit 14 während der Messung zwischen den beiden Sensorspulen 16, 18 mit variierender Impedanz und den beiden festen Widerständen 30, 32 der Widerstandsanordnung 34 mit konstanter Impedanz umgeschaltet werden.

[0090] Beim Einschalten des Messsystems kann die Ausgangsspannung bei konstanter Impedanz als Referenz gespeichert werden. Während des Messbetriebs kann regelmäßig auf die konstante Impedanz umgeschaltet werden. Aus der aktuellen Ausgangsspannung bei konstanter Impedanz und der gespeicherten Referenz kann die aktuelle Variation des Verstärkungsfaktors festgestellt werden. Dadurch kann die Ausgangsspannung aus dem Sensorbetrieb nachgestellt bzw. korrigiert werden, so dass man ein von der Temperatur des Transformators unabhängiges Messergebnis erhält.

[0091] Fig. 14 zeigt einen beispielhaften, mehrere Kompensationszyklen und Erfassungszyklen umfassenden vollständigen Messzyklus. Dabei ergibt sich während der Kompensationszyklen zur Temperaturkompensation eine konstante Impedanz, wohingegen während den Erfassungszyklen eine variable Impedanz vorliegt. Wie anhand der Fig. 14 zu erkennen ist, kann beim Einschalten des Messsystems zunächst die Widerstandsanordnung 34 zugeschaltet werden. Während eines jeweiligen Messzyklus können dann abwechselnd Kompensationszyklen konstanter Impedanz und Erfassungszyklen variabler Impedanz initiiert werden. Die in den Fig. 11 und 12 dargestellten beispielhaften Signalformen sind auch in der Fig. 14 dargestellt. Durch die vertikalen Pfeile sind die jeweiligen Abtastzeitpunkte markiert.

[0092] Die im Zusammenhang mit den verschiedenen Ausführungsbeispielen genannten Sensorspulen können jeweils stationär im Bereich des jeweiligen Magnetlagers angeordnet sein. Bei einer jeweiligen differenziellen Spulenanordnung der in den Fig. 6 und 7 dargestellten Art können die beiden einer jeweiligen Messachse S_i zugeordneten Sensorspulen 16, 18 insbesondere jeweils parallel zur Achse des benachbarten Magnetlagers bzw. parallel zur Rotorachse ausgerichtet sein. Demgegenüber können bei einer jeweiligen absoluten Spulenanordnung der in den Fig. 8 und 9 dargestellten Art die beiden der Messachse z zugeordneten Sensorspulen 16, 18 insbesondere koaxial zum benachbarten Magnetlager bzw. koaxial zur Rotorachse angeordnet sein und unterschiedliche Durchmesser aufweisen.

[0093] Eine jeweilige erfindungsgemäße Positionserfassungsvorrichtung 10 kann beispielsweise einer Vakuumpumpe der im Zusammenhang mit den Fig. 1 bis 5 beschriebenen Art und insbesondere deren Permanentmagnetlager zugeordnet sein.

Bezugszeichenliste

[0094] 

10

Positionserfassungsvorrichtung

12

Sensorik

14

Steuer- und/oder Auswerteeinheit

16

Sensorspule

18

Sensorspule

20

Mittel zur Erzeugung einer induzierten Sensorspannung, Transformator

22

Rotor

24

Ausgangsspule

26

Leiterplatte

28

Schalter

30

Widerstand

32

Widerstand

34

Widerstandsanordnung

111

Turbomolekularpumpe

113

Einlassflansch

115

Pumpeneinlass

117

Pumpenauslass

119

Gehäuse

121

Unterteil

123

Elektronikgehäuse

125

Elektromotor

127

Zubehöranschluss

129

Datenschnittstelle

131

Stromversorgungsanschluss

133

Fluteinlass

135

Sperrgasanschluss

137

Motorraum

139

Kühlmittelanschluss

141

Unterseite

143

Schraube

145

Lagerdeckel

147

Befestigungsbohrung

148

Kühlmittelleitung

149

Rotor

151

Rotationsachse

153

Rotorwelle

155

Rotorscheibe

157

Statorscheibe

159

Abstandsring

161

Rotornabe

163

Holweck-Rotorhülse

165

Holweck-Rotorhülse

167

Holweck-Statorhülse

169

Holweck-Statorhülse

171

Holweck-Spalt

173

Holweck-Spalt

175

Holweck-Spalt

179

Verbindungskanal

181

Wälzlager

183

Permanentmagnetlager

185

Spritzmutter

187

Scheibe

189

Einsatz

191

rotorseitige Lagerhälfte

193

statorseitige Lagerhälfte

195

Ringmagnet

197

Ringmagnet

199

Lagerspalt

201

Trägerabschnitt

203

Trägerabschnitt

205

radiale Strebe

207

Deckelelement

209

Stützring

211

Befestigungsring

213

Tellerfeder

215

Not- bzw. Fanglager

217

Motorstator

219

Zwischenraum

221

Wandung

223

Labyrinthdichtung

S_i

Messachse

U_ext

periodisches elektrisches Erregungssignal, Erregungsspannung

U_sen

induzierte Sensorspannung

i₁

induzierter Strom

i₂

induzierter Strom

i_diff

Differenzstrom

Ansprüche

1. Vorrichtung (10) zur Erfassung der Position eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors (22), insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors einer Vakuumpumpe, bevorzugt einer Turbomolekularvakuumpumpe,
mit einer im Bereich eines Magnetlagers (183) des Rotors (22) angeordneten berührungslosen Sensorik (12) und einer dieser zugeordneten Steuer-und/oder Auswerteeinheit (14), wobei die Sensorik (12) zur Erfassung einer Rotorbewegung entlang einer jeweiligen Messachse (S_i) jeweils eine Sensorspuleneinheit mit wenigstens zwei Sensorspulen (16, 18) umfasst, die über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit (14) jeweils mit einem periodischen elektrischen Erregungssignal (U_ext) beaufschlagbar und relativ zueinander sowie relativ zum Magnetlager (183) so angeordnet sind, dass bei einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der jeweiligen Messachse (S_i) in den beiden Sensorspulen (16, 18) entweder eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt oder sich die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen (16, 18) ändert und in der anderen Sensorspule zumindest im Wesentlichen unverändert bleibt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass Mittel (20) zur Bildung einer induzierten Sensorspannung (U_sen) aus einem Differenzstrom (i_diff) vorgesehen sind, der sich aus den in den beiden einer jeweiligen Messachse (S_i) zugeordneten Sensorspulen (16, 18) induzierten Strömen (i₁, i₂) ergibt, wobei die induzierte Sensorspannung (U_sen) über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit (14) zur Erfassung einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der betreffenden Sensorachse (S_i) abtastbar ist, insbesondere jeweils pro Periode des Erregungssignals (U_ext) zumindest zweimal.

3. Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass über die Steuer-und/oder Auswerteeinheit (14) pro Periode des Erregungssignals (U_ext) zur Bildung einer Differenzspannung die Differenz zwischen zwei insbesondere bei entgegengesetzten Scheitelwerten der induzierten Sensorspannung (U_sen) erhaltenen Abtastwerten erzeugbar und anhand der Amplitude der Differenzspannung der Betrag der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse (S_i) und/oder anhand des Vorzeichens der Differenzspannung die Richtung der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse (S_i) bestimmbar ist.

4. Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass das periodische elektrische Erregungssignal (U_ext) durch ein zumindest im Wesentlichen sinus-oder cosinusförmiges Signal gebildet ist oder eine von einer Sinus- oder Cosinusform abweichende Form besitzt.

5. Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Bildung der induzierten Sensorspannung (U_sen) einen eingangsseitig mit den beiden Sensorspulen (16, 18) verbundenen und ausgangsseitig eine Ausgangsspule (24) aufweisenden Transformator (20) umfassen.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Transformator und den beiden einer jeweiligen Messachse (S_i) zugeordneten Sensorspulen (16, 18) ein über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit (14) ansteuerbarer, insbesondere analoger Schalter (28) vorgesehen ist, über den der Transformator (20) während des Erfassungsbetriebs zur Bestimmung des jeweils aktuellen Verstärkungsfaktors des Transformators (20) wiederholt von den beiden Sensorspulen (16, 18) auf eine, insbesondere zwei feste Widerstände (30, 32) umfassende, Widerstandsanordnung (34), bevorzugt mit konstanter Impedanz, umschaltbar ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet dass über die Steuer-und/oder Auswerteeinheit (14) anhand eines Vergleichs des bestimmten jeweiligen aktuellen Verstärkungsfaktors des Transformators (20) mit einem insbesondere gespeicherten Referenzwert die jeweils aktuelle Variation des Verstärkungsfaktors des Transformators (20) feststellbar ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet dass über die Steuer-und/oder Auswerteeinheit (14) anhand der festgestellten jeweils aktuellen Variation des Verstärkungsfaktors des Transformators (20) die während des Erfassungsbetriebs als Ausgangsspannung erzeugte induzierte Sensorspannung (U_sen) korrigierbar ist, um, insbesondere durch die Temperatur des Transformators (20) bedingte, Einflüsse auf die induzierte Sensorspannung (U_sen) zu kompensieren.

9. Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet dass die Sensorik (12), insbesondere eine jeweilige Sensorspuleneinheit (16, 18), und/oder die Steuer-und/oder Auswerteeinheit (14) auf einer Leiterplatte (26) vorgesehen sind.

10. Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet dass die Sensorik (12) zur berührungslosen Erfassung der Position des zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors (22) entlang mehrerer Messachsen (S_i) eine entsprechende Mehrzahl von Sensorspuleneinheiten mit jeweils zumindest zwei Sensorspulen (16, 18) umfasst.

11. Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet dass eine jeweilige Sensorspuleneinheit zur Bildung einer differenziellen Spulenanordnung, bei der in den beiden Sensorspulen (16, 18) bei einer jeweiligen radialen Rotorbewegung eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt, zwei auf einander gegenüberliegenden Seiten des benachbarten Magnetlagers (183) angeordnete Sensorspulen (16, 18) umfasst, und/oder dass eine jeweilige Sensorspuleneinheit zur Bildung einer absoluten Spulenanordnung, bei der sich bei einer jeweiligen axialen Rotorbewegung die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen (16, 18) ändert und in der als Referenz dienenden anderen Sensorspule unverändert bleibt, mit relativ zueinander konzentrischen Sensorspulen (16, 18) unterschiedlicher Durchmesser ausgeführt ist.

12. Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Stator und einem relativ zum Stator um die Rotorachse (18) drehbar gelagerten Rotor, und mit einer Vorrichtung (10) nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche zur Erfassung der Position des Rotors.

13. Verfahren zum Erfassen der Position eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors (22), insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors einer Vakuumpumpe, bevorzugt einer Turbomolekularvakuumpumpe, bei dem zum Erfassen einer Rotorbewegung entlang einer jeweiligen Messachse (S_i) wenigstens zwei Sensorspulen (16, 18) einer jeweiligen Sensorspuleneinheit einer im Bereich eines Magnetlagers (183) des Rotors (22) angeordneten berührungslosen Sensorik (12) jeweils mit einem periodischen elektrischen Erregungssignal (U_ext) beaufschlagt und relativ zueinander sowie relativ zum Magnetlager (183) so angeordnet werden, dass bei einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der jeweiligen Messachse (S_i) in den beiden Sensorspulen (16, 18) entweder eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt oder sich die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen (16, 18) ändert und in der anderen Sensorspule zumindest im Wesentlichen unverändert bleibt.

14. Verfahren nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet, dass aus einem Differenzstrom (i_diff), der sich aus den in den beiden einer jeweiligen Messachse (Si) zugeordneten Sensorspulen (16, 18) induzierten Strömen (i_i, i₂) ergibt, eine induzierte Sensorspannung (U_sen) gebildet wird, wobei die induzierte Sensorspannung (U_sen) zur Erfassung einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der betreffenden Sensorachse (S_i) abgetastet wird, insbesondere jeweils pro Periode des Erregungssignals (U_ext) zumindest zweimal.

15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14,
dadurch gekennzeichnet, dass pro Periode des Erregungssignals (U_ext) zur Bildung einer Differenzspannung die Differenz zwischen zwei insbesondere bei entgegengesetzten Scheitelwerten der induzierten Sensorspannung (U_sen) erhaltenen Abtastwerten erzeugt und anhand der Amplitude der Differenzspannung der Betrag der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse (S_i) und/oder anhand des Vorzeichens der Differenzspannung die Richtung der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse (S_i) bestimmt wird.

Amended claims

Geänderte Patentansprüche gemäss Regel 137(2) EPÜ.

1. Vorrichtung zur magnetischen Lagerung eines Rotors (22) mit einer Vorrichtung (10) zur Erfassung der Position des zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors (22), insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors einer Vakuumpumpe, bevorzugt einer Turbomolekularvakuumpumpe,
mit einer im Bereich eines Magnetlagers (183) des Rotors (22) angeordneten berührungslosen Sensorik (12) und einer dieser zugeordneten Steuer- und/oder Auswerteeinheit (14), wobei die Sensorik (12) zur Erfassung einer Rotorbewegung entlang einer jeweiligen Messachse (S_i) jeweils eine Sensorspuleneinheit mit wenigstens zwei Sensorspulen (16, 18) umfasst, die über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit (14) jeweils mit einem periodischen elektrischen Erregungssignal (U_ext) beaufschlagbar und relativ zueinander sowie relativ zum Magnetlager (183) so angeordnet sind, dass bei einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der jeweiligen Messachse (S_i) in den beiden Sensorspulen (16, 18) entweder eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt oder sich die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen (16, 18) ändert und in der anderen Sensorspule zumindest im Wesentlichen unverändert bleibt, und wobei eine jeweilige Sensorspuleneinheit zur Bildung einer absoluten Spulenanordnung, bei der sich bei einer jeweiligen axialen Rotorbewegung die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen (16, 18) ändert und in der als Referenz dienenden anderen Sensorspule unverändert bleibt, mit relativ zueinander konzentrischen Sensorspulen (16, 18) unterschiedlicher Durchmesser ausgeführt ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass Mittel (20) zur Bildung einer induzierten Sensorspannung (U_sen) aus einem Differenzstrom (i_diff) vorgesehen sind, der sich aus den in den beiden einer jeweiligen Messachse (S_i) zugeordneten Sensorspulen (16, 18) induzierten Strömen (i_i, i₂) ergibt, wobei die induzierte Sensorspannung (U_sen) über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit (14) zur Erfassung einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der betreffenden Sensorachse (S_i) abtastbar ist, insbesondere jeweils pro Periode des Erregungssignals (U_ext) zumindest zweimal.

3. Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit (14) pro Periode des Erregungssignals (U_ext) zur Bildung einer Differenzspannung die Differenz zwischen zwei insbesondere bei entgegengesetzten Scheitelwerten der induzierten Sensorspannung (U_sen) erhaltenen Abtastwerten erzeugbar und anhand der Amplitude der Differenzspannung der Betrag der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse (S_i) und/oder anhand des Vorzeichens der Differenzspannung die Richtung der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse (S_i) bestimmbar ist.

4. Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass das periodische elektrische Erregungssignal (U_ext) durch ein zumindest im Wesentlichen sinus- oder cosinusförmiges Signal gebildet ist oder eine von einer Sinus- oder Cosinusform abweichende Form besitzt.

5. Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Bildung der induzierten Sensorspannung (U_sen) einen eingangsseitig mit den beiden Sensorspulen (16, 18) verbundenen und ausgangsseitig eine Ausgangsspule (24) aufweisenden Transformator (20) umfassen.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5,
dadurch gekennzeichnet, dass zwischen dem Transformator und den beiden einer jeweiligen Messachse (S_i) zugeordneten Sensorspulen (16, 18) ein über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit (14) ansteuerbarer, insbesondere analoger Schalter (28) vorgesehen ist, über den der Transformator (20) während des Erfassungsbetriebs zur Bestimmung des jeweils aktuellen Verstärkungsfaktors des Transformators (20) wiederholt von den beiden Sensorspulen (16, 18) auf eine, insbesondere zwei feste Widerstände (30, 32) umfassende, Widerstandsanordnung (34), bevorzugt mit konstanter Impedanz, umschaltbar ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, dass über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit (14) anhand eines Vergleichs des bestimmten jeweiligen aktuellen Verstärkungsfaktors des Transformators (20) mit einem insbesondere gespeicherten Referenzwert die jeweils aktuelle Variation des Verstärkungsfaktors des Transformators (20) feststellbar ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, dass über die Steuer- und/oder Auswerteeinheit (14) anhand der festgestellten jeweils aktuellen Variation des Verstärkungsfaktors des Transformators (20) die während des Erfassungsbetriebs als Ausgangsspannung erzeugte induzierte Sensorspannung (U_sen) korrigierbar ist, um, insbesondere durch die Temperatur des Transformators (20) bedingte, Einflüsse auf die induzierte Sensorspannung (U_sen) zu kompensieren.

9. Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorik (12), insbesondere eine jeweilige Sensorspuleneinheit (16, 18), und/oder die Steuer- und/oder Auswerteeinheit (14) auf einer Leiterplatte (26) vorgesehen sind.

10. Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorik (12) zur berührungslosen Erfassung der Position des zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors (22) entlang mehrerer Messachsen (S_i) eine entsprechende Mehrzahl von Sensorspuleneinheiten mit jeweils zumindest zwei Sensorspulen (16, 18) umfasst.

11. Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass eine jeweilige Sensorspuleneinheit zur Bildung einer differenziellen Spulenanordnung, bei der in den beiden Sensorspulen (16, 18) bei einer jeweiligen radialen Rotorbewegung eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt, zwei auf einander gegenüberliegenden Seiten des benachbarten Magnetlagers (183) angeordnete Sensorspulen (16, 18) umfasst.

12. Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einem Stator und einem relativ zum Stator um die Rotorachse (18) drehbar gelagerten Rotor, und mit einer Vorrichtung nach zumindest einem der vorstehenden Ansprüche zur Erfassung der Position des Rotors.

13. Verfahren zum Erfassen der Position eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors (22), insbesondere eines zumindest teilweise magnetgelagerten Rotors einer Vakuumpumpe, bevorzugt einer Turbomolekularvakuumpumpe, bei dem zum Erfassen einer Rotorbewegung entlang einer jeweiligen Messachse (S_i) wenigstens zwei Sensorspulen (16, 18) einer jeweiligen Sensorspuleneinheit einer im Bereich eines Magnetlagers (183) des Rotors (22) angeordneten berührungslosen Sensorik (12) jeweils mit einem periodischen elektrischen Erregungssignal (U_ext) beaufschlagt und relativ zueinander sowie relativ zum Magnetlager (183) so angeordnet werden, dass bei einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der jeweiligen Messachse (S_i) in den beiden Sensorspulen (16, 18) entweder eine gegensinnige Induktivitätsänderung auftritt oder sich die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen (16, 18) ändert und in der anderen Sensorspule zumindest im Wesentlichen unverändert bleibt, und bei dem eine jeweilige Sensorspuleneinheit zur Bildung einer absoluten Spulenanordnung, bei der sich bei einer jeweiligen axialen Rotorbewegung die Induktivität nur in einer der beiden Sensorspulen (16, 18) ändert und in der als Referenz dienenden anderen Sensorspule unverändert bleibt, mit relativ zueinander konzentrischen Sensorspulen (16, 18) unterschiedlicher Durchmesser ausgeführt wird.

14. Verfahren nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet, dass aus einem Differenzstrom (i_diff), der sich aus den in den beiden einer jeweiligen Messachse (Si) zugeordneten Sensorspulen (16, 18) induzierten Strömen (i₁, i₂) ergibt, eine induzierte Sensorspannung (U_sen) gebildet wird, wobei die induzierte Sensorspannung (U_sen) zur Erfassung einer jeweiligen Rotorbewegung entlang der betreffenden Sensorachse (S_i) abgetastet wird, insbesondere jeweils pro Periode des Erregungssignals (U_ext) zumindest zweimal.

15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14,
dadurch gekennzeichnet, dass pro Periode des Erregungssignals (U_ext) zur Bildung einer Differenzspannung die Differenz zwischen zwei insbesondere bei entgegengesetzten Scheitelwerten der induzierten Sensorspannung (U_sen) erhaltenen Abtastwerten erzeugt und anhand der Amplitude der Differenzspannung der Betrag der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse (S_i) und/oder anhand des Vorzeichens der Differenzspannung die Richtung der Rotorbewegung entlang der betreffenden Messachse (S_i) bestimmt wird.

Zeichnung