(19)
(11) EP 3 369 110 A1

(12)

(43) Date de publication:
05.09.2018  Bulletin  2018/36

(21) Numéro de dépôt: 16788111.9

(22) Date de dépôt:  28.10.2016
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/762(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2016/076033
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2017/072276 (04.05.2017 Gazette  2017/18)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA MD

(30) Priorité: 30.10.2015 FR 1560418

(71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • TAUZIN, Aurélie
    38120 Saint-egreve (FR)
  • LAGOUTTE, Emmanuelle
    38160 St Marcellin (FR)
  • MAZEN, Frédéric
    38120 Saint-egreve (FR)
  • PIEGAS LUCE, Flavia
    38000 Grenoble (FR)
  • REBOH, Shay
    38054 Grenoble Cedex 09 (FR)

(74) Mandataire: Brevalex 
95, rue d'Amsterdam
75378 Paris Cedex 8
75378 Paris Cedex 8 (FR)

   


(54) PROCÉDÉ D'ÉLIMINATION DE DÉFAUTS DANS UN FILM SEMICONDUCTEUR COMPRENANT LA FORMATION D'UNE COUCHE DE PIÉGEAGE D'HYDROGÈNE