(19)
(11) EP 3 371 824 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.09.2018  Patentblatt  2018/37

(21) Anmeldenummer: 16790304.6

(22) Anmeldetag:  24.10.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/683(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/075571
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2017/076682 (11.05.2017 Gazette  2017/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 02.11.2015 DE 102015118742

(71) Anmelder: EV Group E. Thallner GmbH
4782 St. Florian (AT)

(72) Erfinder:
  • BURGGRAF, Jürgen
    4780 Schärding (AT)
  • WIESBAUER, Harald
    4910 Ried im Innkreis (AT)

(74) Vertreter: Schneider, Sascha et al
Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22
40878 Ratingen
40878 Ratingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM BONDEN UND LÖSEN VON SUBSTRATEN