(19)
(11) EP 3 378 093 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.09.2018  Patentblatt  2018/39

(21) Anmeldenummer: 16797907.9

(22) Anmeldetag:  17.11.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/673(2006.01)
H01L 21/677(2006.01)
C23C 16/458(2006.01)
 H01L 21/687(2006.01)
H01J 37/32(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/077985
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2017/085178 (26.05.2017 Gazette  2017/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 18.11.2015 DE 102015014903

(71) Anmelder: centrotherm international AG
89143 Blaubeuren (DE)

(72) Erfinder:
  • VÖLK, Peter
    89608 Griesingen (DE)
  • WALK, Uli
    89079 Gögglingen (DE)
  • JOOSS, Wolfgang
    78465 Konstanz (DE)

(74) Vertreter: Klang, Alexander H. 
Wagner & Geyer Gewürzmühlstrasse 5
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) WAFERBOOT UND PLASMA-BEHANDLUNGSVORRICHTUNG FÜR WAFER