(19)
(11) EP 3 394 317 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
31.10.2018  Patentblatt  2018/44

(21) Anmeldenummer: 16816680.9

(22) Anmeldetag:  19.12.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/455(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/081788
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2017/108714 (29.06.2017 Gazette  2017/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 22.12.2015 AT 8152015

(71) Anmelder: SICO Technology GmbH
9531 Bleiberg-Kreuth (AT)

(72) Erfinder:
  • NADRAG, Walter
    9530 Bad Bleiberg (AT)
  • NADRAG, Enrico
    9530 Bad Bleiberg (AT)

(74) Vertreter: Beer & Partner Patentanwälte KG 
Lindengasse 8
1070 Wien
1070 Wien (AT)

   


(54) INJEKTOR AUS SILIZIUM FÜR DIE HALBLEITERINDUSTRIE