(19)

(11)

EP 3 394 318 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 31.10.2018  Patentblatt  2018/44 (21) Anmeldenummer: 16825370.6 (22) Anmeldetag:  19.12.2016

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/458(2006.01) H01J 37/32(2006.01) C23C 16/50(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2016/081787 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2017/108713 (29.06.2017 Gazette  2017/26)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA MD (30) Priorität: 22.12.2015 CH 18962015 (71) Anmelder: Interglass Technology AG 6312 Steinhausen (CH)	(72) Erfinder: ARNET, Roman 6373 Ennetbuergen (CH) PIOTROWSKI, Daniel 6312 Steinhausen (CH) KOERNER, Lutz 8902 Urdorf (CH) (74) Vertreter: Falk, Urs  Patentanwaltsbüro Dr. Urs Falk Eichholzweg 9A 6312 Steinhausen 6312 Steinhausen (CH)