(19)
(11) EP 3 394 323 A1

(12)

(43) Date de publication:
31.10.2018  Bulletin  2018/44

(21) Numéro de dépôt: 16819091.6

(22) Date de dépôt:  21.12.2016
(51) Int. Cl.: 
C30B 25/18(2006.01)
H01L 21/762(2006.01)
 C30B 29/22(2006.01)
H01L 41/312(2013.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2016/082259
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2017/109005 (29.06.2017 Gazette  2017/26)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA MD

(30) Priorité: 22.12.2015 FR 1563057

(71) Demandeur: Soitec
38190 Bernin (FR)

(72) Inventeurs:
  • GHYSELEN, Bruno
    38170 Seyssinet-Pariset (FR)
  • RADU, Ionut
    38920 Crolles (FR)
  • BETHOUX, Jean-Marc
    38500 La Buisse (FR)

(74) Mandataire: Regimbeau 
20, rue de Chazelles
75847 Paris Cedex 17
75847 Paris Cedex 17 (FR)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION D'UNE COUCHE PIEZOELECTRIQUE MONOCRISTALLINE ET DISPOSITIF MICROELECTRONIQUE, PHOTONIQUE OU OPTIQUE COMPRENANT UNE TELLE COUCHE