(19)

(11)

EP 3 394 324 A1

(12)

(43) Date de publication: 31.10.2018  Bulletin  2018/44 (21) Numéro de dépôt: 16819558.4 (22) Date de dépôt:  21.12.2016

(51) Int. Cl.:  C30B 25/18(2006.01) H01L 21/762(2006.01) C30B 29/22(2006.01) H01L 41/312(2013.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2016/082245 (87) Numéro de publication internationale: WO 2017/108994 (29.06.2017 Gazette  2017/26)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: MA MD (30) Priorité: 22.12.2015 FR 1563055 (71) Demandeur: Soitec 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeurs: GHYSELEN, Bruno 38170 Seyssinet-Pariset (FR) BETHOUX, Jean-Marc 38500 La Buisse (FR) (74) Mandataire: Regimbeau  20, rue de Chazelles 75847 Paris Cedex 17 75847 Paris Cedex 17 (FR)