(19)
(11) EP 3 394 560 A1

(12)

(43) Date de publication:
31.10.2018  Bulletin  2018/44

(21) Numéro de dépôt: 16816597.5

(22) Date de dépôt:  07.12.2016
(51) Int. Cl.: 
G01B 9/02(2006.01)
G01B 11/06(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2016/080005
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2017/108400 (29.06.2017 Gazette  2017/26)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA MD

(30) Priorité: 22.12.2015 FR 1563128

(71) Demandeur: Unity Semiconductor
38330 Montbonnot-Saint-Martin (FR)

(72) Inventeurs:
  • PIEL, Jean-Philippe
    78620 L'etang La Ville (FR)
  • SU, Jeff, WuYu
    Tainan City 70163 (TW)
  • THOUY, Benoit
    34000 Montpellier (FR)

(74) Mandataire: IPAZ 
Parc Les Algorithmes, Bâtiment Platon CS 70003 Saint-Aubin
91192 Gif-sur-Yvette Cedex
91192 Gif-sur-Yvette Cedex (FR)

   


(54) DISPOSITIF ET PROCEDE DE MESURE DE HAUTEUR EN PRESENCE DE COUCHES MINCES