(19)
(11) EP 3 394 574 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
31.10.2018  Patentblatt  2018/44

(21) Anmeldenummer: 16798745.2

(22) Anmeldetag:  22.11.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01F 1/684(2006.01)
 G01F 1/692(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/078393
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2017/108300 (29.06.2017 Gazette  2017/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 21.12.2015 DE 102015226197

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • GROSS, David
    70435 Stuttgart (DE)
  • UTERMOEHLEN, Fabian
    71229 Leonberg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES STRÖMUNGSSENSORS AUF DÜNNFILMBASIS SOWIE EIN SOLCHER STRÖMUNGSSENSOR