(19)
(11) EP 3 394 655 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
31.10.2018  Patentblatt  2018/44

(21) Anmeldenummer: 16826338.2

(22) Anmeldetag:  23.12.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 21/00(2006.01)
G02B 26/10(2006.01)
G02B 26/08(2006.01)
G02B 27/64(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/082517
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2017/109155 (29.06.2017 Gazette  2017/26)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 23.12.2015 LU 92924

(71) Anmelder: Leica Microsystems CMS GmbH
35578 Wetzlar (DE)

(72) Erfinder:
  • DYBA, Marcus
    69121 Heidelberg (DE)

(74) Vertreter: Schaumburg und Partner Patentanwälte mbB 
Postfach 86 07 48
81634 München
81634 München (DE)

   


(54) ABTASTVORRICHTUNG ZUM ABTASTEN EINES OBJEKTS FÜR DEN EINSATZ IN EINEM RASTERMIKROSKOP