(19)
(11) EP 3 411 658 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.12.2018  Patentblatt  2018/50

(21) Anmeldenummer: 17706162.9

(22) Anmeldetag:  31.01.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 11/22(2006.01)
G01B 9/02(2006.01)
 G02B 21/00(2006.01)
G01B 11/24(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2017/051992
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2017/134031 (10.08.2017 Gazette  2017/32)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 02.02.2016 DE 102016101832

(71) Anmelder: FRT GmbH
51429 Bergisch Gladbach (DE)

(72) Erfinder:
  • DR. FRIES, Thomas
    51429 Bergisch Gladbach (DE)
  • DR. KOGLIN, Jürgen
    51429 Bergisch Gladbach (DE)
  • GRÄFEN, Thorsten Heiko
    51429 Bergisch Gladbach (DE)
  • DR. AVELLÁN HAMPE, Alejandro
    51429 Bergisch Gladbach (DE)
  • LEWALD, Björn
    51429 Bergisch Gladbach (DE)

(74) Vertreter: Harrison, Robert John 
24IP Law Group Sonnenberg Fortmann Patent- und Rechtsanwälte Postfach 33 08 65
80068 München
80068 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND MESSVORRICHTUNG ZUR MESSUNG DER TOPOGRAPHIE UNTER VERWENDUNG VON MINDESTENS ZWEI HÖHENEBENEN EINER OBERFLÄCHE