(19)

(11)

EP 3 423 609 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.01.2019  Patentblatt  2019/02 (21) Anmeldenummer: 17709580.9 (22) Anmeldetag:  28.02.2017

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/02(2006.01) C23C 28/04(2006.01) C23C 14/06(2006.01) C23C 28/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2017/000270 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2017/148582 (08.09.2017 Gazette  2017/36)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA MD (30) Priorität: 01.03.2016 US 201662301656 P (71) Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 8808 Pfäffikon (CH)	(72) Erfinder: VETTER, Joerg 51429 Bergisch Gladbach (DE) (74) Vertreter: Misselhorn, Hein-Martin  Patent- und Rechtsanwalt Donaustrasse 6 85049 Ingolstadt 85049 Ingolstadt (DE)