(19)
(11) EP 3 440 012 A1

(12)

(43) Date de publication:
13.02.2019  Bulletin  2019/07

(21) Numéro de dépôt: 17714827.7

(22) Date de dépôt:  06.04.2017
(51) Int. Cl.: 
B81C 1/00(2006.01)
H01L 21/768(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2017/058222
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2017/174709 (12.10.2017 Gazette  2017/41)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA MD

(30) Priorité: 06.04.2016 FR 1653006

(71) Demandeurs:
  • Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
    75794 Paris Cedex 16 (FR)
  • Université de Tours
    37020 Tours Cedex 1 (FR)

(72) Inventeurs:
  • ALQUIER, Daniel
    37000 Tours (FR)
  • KHAZAKA, Rami
    06600 Antibes (FR)
  • MICHAUD, Jean François
    37300 Joue les Tours (FR)
  • PORTAIL, Marc
    06250 Mougins (FR)

(74) Mandataire: Cabinet Camus Lebkiri 
25 rue de Maubeuge
75009 Paris
75009 Paris (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE MICROMÉCANIQUE EN CARBURE DE SILICIUM COMPORTANT AU MOINS UNE CAVITÉ