(19)

(11)

EP 3 449 033 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 06.03.2019  Patentblatt  2019/10 (21) Anmeldenummer: 16791044.7 (22) Anmeldetag:  07.11.2016

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/50(2006.01) H01J 37/32(2006.01) C23C 16/458(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2016/076811 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2017/077106 (11.05.2017 Gazette  2017/19)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR (30) Priorität: 05.11.2015 DE 102015119037 (71) Anmelder: Bühler Alzenau GmbH 63755 Alzenau (DE)	(72) Erfinder: SCHMAUDER, Torsten 63329 Egelsbach (DE) URBAN, Ludger 63579 Freigericht (DE) DICKEN, Wilfried 63607 Wächtersbach (DE) TRUBE, Jutta 63776 Mömbris (DE) (74) Vertreter: Vossius & Partner Patentanwälte Rechtsanwälte mbB  Siebertstrasse 3 81675 München 81675 München (DE)