(19)
(11) EP 3 453 058 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.03.2019  Patentblatt  2019/11

(21) Anmeldenummer: 17721514.2

(22) Anmeldetag:  31.03.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 45/00(2006.01)
 H01J 37/317(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2017/000080
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2017/190719 (09.11.2017 Gazette  2017/45)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 04.05.2016 DE 102016005537

(71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • BOROWSKI, René
    52428 Jülich (DE)
  • KIM, Won Joo
    Sunnyvale, CA 94086 (US)
  • RANA, Vikas
    52428 Jülich (DE)
  • WASER, Rainer
    52076 Aachen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SCHICHTEN VON ReRAM-SPEICHERN UND VERWENDUNG EINES IMPLANTERS