(19)
(11) EP 3 455 663 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.03.2019  Patentblatt  2019/12

(21) Anmeldenummer: 17723981.1

(22) Anmeldetag:  12.05.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 21/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2017/061470
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2017/194742 (16.11.2017 Gazette  2017/46)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 13.05.2016 DE 102016108987

(71) Anmelder: Leica Microsystems CMS GmbH
35578 Wetzlar (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHUMANN, Christian
    35423 Lich (DE)
  • WEISS, Albrecht
    35440 Linden (DE)
  • BAUER, Tobias
    61462 Königstein (DE)
  • GONSCHIOR, Cornell Peter
    61169 Friedberg (DE)

(74) Vertreter: m patent group 
Postfach 33 04 29
80064 München
80064 München (DE)

   


(54) OPTISCHES RASTERMIKROSKOP UND UNTERSUCHUNGSVERFAHREN