(19)

(11)

EP 3 465 732 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 10.04.2019  Patentblatt  2019/15 (21) Anmeldenummer: 17726938.8 (22) Anmeldetag:  31.05.2017

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 49/14(2006.01) H01J 49/40(2006.01) H01J 27/08(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2017/063084 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2017/211627 (14.12.2017 Gazette  2017/50)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA MD (30) Priorität: 07.06.2016 DE 102016110495 (71) Anmelder: VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH 07751 Grosslöbichau (DE)	(72) Erfinder: GRANOVSKIJ, Mihail 07751 Jena (DE) BDZOCH, Juraij 82140 Olching (DE) UCHATSCH, Sergej 07743 Jena (DE) ZIMARE, Anton 07743 Jena (DE) (74) Vertreter: Kruspig, Volkmar  Meissner Bolte Patentanwälte Rechtsanwälte Partnerschaft mbB Berliner Straße 1 07545 Gera 07545 Gera (DE)