(19)

(11)

EP 3 465 774 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 10.04.2019  Patentblatt  2019/15 (21) Anmeldenummer: 17726939.6 (22) Anmeldetag:  31.05.2017

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/0352(2006.01) H01L 31/18(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2017/063088 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2017/211629 (14.12.2017 Gazette  2017/50)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA MD (30) Priorität: 07.06.2016 DE 102016110464 (71) Anmelder: Ingenieurbüro für Thermische Prozesse Dr. Erfurt 09599 Freiberg (DE)	(72) Erfinder: ERFURT, Gunter 09599 Freiberg (DE) KRAUSE, Andreas 09599 Freiberg (DE) (74) Vertreter: Harrison, Robert John  24IP Law Group Sonnenberg Fortmann Patent- und Rechtsanwälte Postfach 33 08 65 80068 München 80068 München (DE)