(19)

(11)

EP 3 465 783 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 10.04.2019  Patentblatt  2019/15 (21) Anmeldenummer: 17733346.5 (22) Anmeldetag:  31.05.2017

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 41/047(2006.01) H02N 2/00(2006.01) H01L 41/09(2006.01) H02N 2/02(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2017/100463 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2017/206992 (07.12.2017 Gazette  2017/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA MD (30) Priorität: 01.06.2016 DE 102016110124 (71) Anmelder: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG 76228 Karlsruhe (DE)	(72) Erfinder: WISCHNEWSKIY, Wladimir 14712 Rathenow (DE) WISCHNEWSKI, Alexej 76744 Wörth (DE) (74) Vertreter: Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB  Leopoldstraße 4 80802 München 80802 München (DE)