(19)
(11) EP 3 472 851 A1

(12)

(43) Date de publication:
24.04.2019  Bulletin  2019/17

(21) Numéro de dépôt: 17729836.1

(22) Date de dépôt:  06.06.2017
(51) Int. Cl.: 
H01J 37/22(2006.01)
G03F 7/20(2006.01)
H01J 37/302(2006.01)
 H01J 37/317(2006.01)
G06F 17/50(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2017/063657
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2017/215976 (21.12.2017 Gazette  2017/51)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA MD

(30) Priorité: 16.06.2016 FR 1655610

(71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
75015 Paris (FR)

(72) Inventeur:
  • CONSTANCIAS, Christophe
    38700 Sarcenas (FR)

(74) Mandataire: Priori, Enrico et al
Marks & Clerk France Immeuble "Visium" 22, avenue Aristide Briand
94117 Arcueil Cedex
94117 Arcueil Cedex (FR)

   


(54) PROCEDE DE PROJECTION D'UN FAISCEAU DE PARTICULES SUR UN SUBSTRAT AVEC CORRECTION DES EFFETS DE DIFFUSION