(19)

(11)

EP 3 475 471 A1

(12)

(43) Date de publication: 01.05.2019  Bulletin  2019/18 (21) Numéro de dépôt: 17742490.0 (22) Date de dépôt:  26.06.2017

(51) Int. Cl.:  C30B 23/02(2006.01) C30B 29/60(2006.01) C30B 25/18(2006.01) C30B 23/04(2006.01) C30B 25/04(2006.01) H01L 21/02(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2017/051692 (87) Numéro de publication internationale: WO 2018/002497 (04.01.2018 Gazette  2018/01)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: MA MD (30) Priorité: 28.06.2016 FR 1656008 (71) Demandeurs: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR) Aledia 38040 Grenoble (FR)	(72) Inventeurs: AMSTATT, Benoit 38000 Grenoble (FR) DUPONT, Florian 38000 Grenoble (FR) HENAFF, Ewen 38600 Fontaine (FR) HYOT, Bérangère 38320 Eybens (FR) (74) Mandataire: GIE Innovation Competence Group  310, avenue Berthelot 69372 Lyon Cedex 08 69372 Lyon Cedex 08 (FR)