(19)

(11)

EP 3 487 639 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 29.05.2019  Patentblatt  2019/22 (21) Anmeldenummer: 17730392.2 (22) Anmeldetag:  24.05.2017

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B08B 3/08(2006.01) H01L 21/02(2006.01) H01L 21/67(2006.01) B08B 9/08(2006.01) B08B 3/10(2006.01) H01L 21/677(2006.01) C02F 1/461(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2017/062693 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2017/203007 (30.11.2017 Gazette  2017/48)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA MD (30) Priorität: 27.05.2016 DE 102016109771 (71) Anmelder: Brooks Automation (Germany) GmbH 78315 Radolfzell (DE)	(72) Erfinder: REBSTOCK, Lutz 78343 Gaienhofen (DE) FRYDA, Matthias 25524 Itzehoe (DE) MATTHÉE, Thorsten 25582 Hohenaspe (DE) (74) Vertreter: Kudlek, Franz Thomas  m patent group Postfach 33 04 29 80064 München 80064 München (DE)