(19)
(11) EP 3 491 165 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.06.2019  Patentblatt  2019/23

(21) Anmeldenummer: 17732864.8

(22) Anmeldetag:  21.06.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/50(2006.01)
H01J 37/32(2006.01)
 C23C 16/44(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2017/065185
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/019482 (01.02.2018 Gazette  2018/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 28.07.2016 DE 102016213951

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • GUENTHER, Marcus
    70839 Gerlingen (DE)
  • SCHMIDT, Oliver
    71282 Hemmingen (DE)
  • DOBRYGIN, Wladislaw
    71229 Leonberg (DE)

   


(54) VERBESSERTE LENKUNG VON IONEN AUS EINEM PLASMA AUF EIN ZU BESCHICHTENDES SUBSTRAT