(19)
(11) EP 3 494 440 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.06.2019  Patentblatt  2019/24

(21) Anmeldenummer: 17749175.0

(22) Anmeldetag:  04.08.2017
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 7/20(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2017/069764
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2018/024872 (08.02.2018 Gazette  2018/06)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 05.08.2016 DE 102016214606

(71) Anmelder: Karlsruher Institut für Technologie
76131 Karlsruhe (DE)

(72) Erfinder:
  • KOOS, Christian
    74936 Siegelsbach (DE)
  • HOOSE, Tobias
    76133 Karlsruhe (DE)
  • DIETRICH, Philipp-Immanuel
    97999 Igersheim (DE)
  • BLAICHER, Matthias
    76275 Ettlingen (DE)
  • GÖDECKE, Maria Laura
    70372 Stuttgart (DE)
  • LINDENMANN, Nicole
    75223 Niefern-Öschelbronn (DE)

(74) Vertreter: Herzog, Fiesser & Partner Patentanwälte PartG mbB 
Dudenstrasse 46
68167 Mannheim
68167 Mannheim (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR LITHOGRAPHISCHEN ERZEUGUNG EINER ZIELSTRUKTUR AN EINER NICHT-PLANAREN AUSGANGSSTRUKTUR